8 inch silisium wafer P/N-type (100) 1-100Ω dummy reclaim substraat
Yntrodusearje fan wafer box
De 8-inch silisium wafer is in gewoan brûkt silisium substraatmateriaal en wurdt in protte brûkt yn it fabrikaazjeproses fan yntegreare circuits. Sokke silisiumwafels wurde faak brûkt om ferskate soarten yntegreare circuits te meitsjen, ynklusyf mikroprozessors, ûnthâldchips, sensors en oare elektroanyske apparaten. 8-inch silisium wafers wurde faak brûkt om chips fan relatyf grutte maten te meitsjen, mei foardielen ynklusyf in grutter oerflak en de mooglikheid om mear chips te meitsjen op ien silisium wafer, wat liedt ta ferhege produksje-effisjinsje. De 8-inch silisium wafer hat ek goede meganyske en gemyske eigenskippen, dy't geskikt is foar grutskalige yntegreare circuitproduksje.
Produkt funksjes
8" P/N type, gepolijst silisium wafer (25 st)
Oriïntaasje: 200
Resistiviteit: 0.1 - 40 ohm•cm (It kin ferskille fan batch nei batch)
Dikte: 725+/-20um
Prime / Monitor / Testklasse
MATERIAAL EIGENSCHAPPEN
Parameter | Karakteristyk |
Type/Dopant | P, Boron N, Fosfor N, Antimoan N, Arseen |
Oriïntaasjes | <100>, <111> snije oriïntaasjes ôf per spesifikaasjes fan klant |
Oxygen ynhâld | 1019ppmA Oanpaste tolerânsjes per klant spesifikaasje |
Koalstof ynhâld | < 0,6 ppmA |
MEGANISCHE EIGENSCHAPPEN
Parameter | Prime | Monitor / Test A | Toets |
Diameter | 200±0,2 mm | 200 ± 0,2 mm | 200 ± 0,5 mm |
Dikte | 725±20µm (standert) | 725±25µm (standert) 450±25µm 625±25µm 1000±25µm 1300±25µm 1500±25 µm | 725±50µm (standert) |
TTV | < 5 µm | < 10 µm | < 15 µm |
Bôge | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm |
Wrap | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm |
Rûning | SEMI-STD | ||
Marking | Primêr SEMI-Flat allinne, SEMI-STD Flats Jeida Flat, Notch |
Parameter | Prime | Monitor / Test A | Toets |
Front Side Criteria | |||
Surface condition | Chemical Mechanical Polished | Chemical Mechanical Polished | Chemical Mechanical Polished |
Oerflak Roughness | < 2 A° | < 2 A° | < 2 A° |
Fersmoarging Partikels@ >0,3 µm | = 20 | = 20 | = 30 |
Haze, Pits Oranje skil | Gjin | Gjin | Gjin |
Sjoch, Marks Striations | Gjin | Gjin | Gjin |
Back Side Criteria | |||
Barsten, kraaienfuotten, seachmerken, vlekken | Gjin | Gjin | Gjin |
Surface condition | Caustic etste |