6-inch 150 mm Silicon Carbide SiC Wafers 4H-N type foar MOS of SBD Production Research en Dummy grade
Applikaasje fjilden
It 6-inch silisiumkarbid-ienkristalsubstraat spilet in krúsjale rol yn meardere yndustry. As earste wurdt it in protte brûkt yn 'e semiconductor-yndustry foar de fabryk fan elektroanyske apparaten mei hege krêft lykas krêfttransistors, yntegreare circuits en krêftmodules. Syn hege termyske conductivity en hege-temperatuer ferset meitsje it mooglik om better waarmte dissipation, resultearret yn ferbettere effisjinsje en betrouberens. Twadder binne silisiumkarbidwafels essensjeel yn ûndersyksfjilden foar de ûntwikkeling fan nije materialen en apparaten. Derneist fynt de silisiumkarbidwafer wiidweidige applikaasjes op it mêd fan opto-elektroanika, ynklusyf de fabrikaazje fan LED's en laserdiodes.
Produkt Spesifikaasjes
It 6-inch silisiumkarbid-ienkristalsubstraat hat in diameter fan 6 inch (sawat 152,4 mm). De oerflakruwheid is Ra <0.5 nm, en de dikte is 600 ± 25 μm. It substraat kin oanpast wurde mei N-type as P-type konduktiviteit, basearre op klanteasken. Boppedat toant it útsûnderlike meganyske stabiliteit, by steat om druk en trilling te wjerstean.
Diameter | 150 ± 2.0 mm (6 inch) | ||||
Dikte | 350 μm±25μm | ||||
Oriïntaasje | Op as: <0001>±0,5° | Off-as: 4.0° nei 1120 ± 0.5° | |||
Polytype | 4H | ||||
Resistiviteit (Ω·cm) | 4H-N | 0.015~0.028 Ω·cm/0.015~0.025ohm·cm | |||
4/6H-SI | >1E5 | ||||
Primêre platte oriïntaasje | {10-10}±5,0° | ||||
Primêre platte lingte (mm) | 47,5 mm±2,5 mm | ||||
Râne | Chamfer | ||||
TTV/Bow/Warp (um) | ≤15 /≤40 /≤60 | ||||
AFM Front (Si-face) | Poalsk Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0,5 nm | |||||
LTV | ≤3μm (10mm*10mm) | ≤5μm (10mm*10mm) | ≤10μm (10mm*10mm) | ||
TTV | ≤5 μm | ≤10μm | ≤15μm | ||
Oranjeskil/pitten/barsten/fersmoarging/flekken/strielen | Gjin | Gjin | Gjin | ||
ynspringen | Gjin | Gjin | Gjin |
It 6-inch silisiumkarbid-ienkristal-substraat is in heechprestearjend materiaal dat in soad brûkt wurdt yn 'e semiconductor, ûndersyk, en opto-elektroanyske yndustry. It biedt poerbêste termyske conductivity, meganyske stabiliteit, en hege-temperatuer ferset, wêrtroch't it geskikt foar de fabrikaazje fan hege-power elektroanyske apparaten en nij materiaal ûndersyk. Wy leverje ferskate spesifikaasjes en oanpassingsopsjes om te foldwaan oan ferskate klanteasken.Nim kontakt mei ús op foar mear details oer silisiumkarbidwafels!