100mm 4inch GaN op Sapphire Epi-laach wafer Gallium nitride epitaksiale wafer
It groeiproses fan GaN blauwe LED kwantumputstruktuer.Detaillearre proses flow is as folget
(1) Hege temperatuer bakken, saffier substraat wurdt earst ferwaarme oant 1050 ℃ yn in wetterstof sfear, it doel is om skjin it substraat oerflak;
(2) As de substraattemperatuer sakket nei 510 ℃, wurdt in lege temperatuer GaN / AlN-bufferlaach mei in dikte fan 30nm op it oerflak fan it saffiersubstraat dellein;
(3) Temperatuerferheging oant 10 ℃, it reaksjegas ammoniak, trimethylgallium en silane wurde ynjeksje, respektivelik kontrolearje de oerienkommende streamsnelheid, en it silisium-dopede N-type GaN fan 4um dikte wurdt groeid;
(4) It reaksjegas fan trimethylaluminium en trimethylgallium waard brûkt om silisium-dopede N-type A⒑ kontininten te meitsjen mei in dikte fan 0.15um;
(5) 50nm Zn-doped InGaN waard taret troch ynjeksje fan trimethylgallium, trimethylindium, diethylzinc en ammoniak by in temperatuer fan 8O0 ℃ en it kontrolearjen fan respektivelik ferskate streamtaten;
(6) De temperatuer waard ferhege nei 1020 ℃, trimethylaluminium, trimethylgallium en bis (cyclopentadienyl) magnesium waarden ynjeksje om 0.15um Mg doped P-type AlGaN en 0.5um Mg doped P-type G bloedglucose te meitsjen;
(7) Hege kwaliteit P-type GaN Sibuyan film waard krigen troch annealing yn stikstof sfear by 700 ℃;
(8) Etsen op it P-type G stasis oerflak te reveal de N-type G stasis oerflak;
(9) Ferdamping fan Ni / Au kontakt platen op p-GaNI oerflak, ferdamping fan △ / Al kontakt platen op ll-GaN oerflak te foarmjen elektroden.
Spesifikaasjes
| Ûnderdiel | GaN-TCU-C100 | GaN-TCN-C100 |
| Ofmjittings | e 100 mm ± 0,1 mm | |
| Dikte | 4,5 ± 0,5 um Kin wurde oanpast | |
| Oriïntaasje | C-flak(0001) ±0,5° | |
| Conduct Type | N-type (net-dopte) | N-type (Si-doped) |
| Resistiviteit (300K) | < 0.5 Q・cm | < 0.05 Q・cm |
| Carrier Konsintraasje | <5x1017cm-3 | >1x1018cm-3 |
| Mobiliteit | ~300 sm2/Vs | ~ 200 sm2/Vs |
| Dislokaasjedichtheid | Minder as 5x108cm-2(berekkene troch FWHM's fan XRD) | |
| Substraat struktuer | GaN op Sapphire (Standert: SSP Opsje: DSP) | |
| Brûkber oerflak | > 90% | |
| Pakket | Ferpakt yn in klasse 100 skjinne keamer omjouwing, yn kassetten fan 25pcs of inkele wafer containers, ûnder in stikstof sfear. | |
Detaillearre diagram
