50,8 mm 2 inch GaN op saffier Epi-laachwafer
Tapassing fan galliumnitride GaN epitaksiale plaat
Op basis fan 'e prestaasjes fan galliumnitride binne galliumnitride-epitaksiale chips benammen geskikt foar tapassingen mei hege fermogen, hege frekwinsje en lege spanning.
It wurdt wjerspegele yn:
1) Hege bandgap: Hege bandgap ferbetteret it spanningsnivo fan galliumnitride-apparaten en kin hegere krêft útjaan as galliumarsenide-apparaten, wat foaral geskikt is foar 5G-kommunikaasjebasisstasjons, militêre radar en oare fjilden;
2) Hege konverzje-effisjinsje: de oan-wjerstân fan galliumnitride-skeakeljende krêftelektronika-apparaten is 3 oarders fan grutte leger as dy fan silisium-apparaten, wat it oan-skeakelferlies signifikant kin ferminderje;
3) Hege termyske geliedingsfermogen: de hege termyske geliedingsfermogen fan galliumnitride makket it in poerbêste waarmteôffierprestaasje, geskikt foar de produksje fan apparaten mei hege krêft, hege temperatuer en oare fjilden;
4) Sterkte fan it elektryske fjild fan trochbraak: Hoewol de sterkte fan it elektryske fjild fan trochbraak fan galliumnitride ticht by dy fan silisiumnitride leit, is de spanningstolerânsje fan galliumnitride-apparaten, fanwegen it healgeleiderproses, de ferskillen yn it materiaalrooster en oare faktoaren, meastal sawat 1000V, en de spanning foar feilich gebrûk is meastal ûnder 650V.
Ûnderdiel | GaN-TCU-C50 | GaN-TCN-C50 | GaN-TCP-C50 |
Ofmjittings | e 50,8 mm ± 0,1 mm | ||
Dikte | 4,5 ± 0,5 um | 4,5 ± 0,5 µm | |
Oriïntaasje | C-flak(0001) ±0,5° | ||
Geliedingstype | N-type (ûndotearre) | N-type (Si-dopearre) | P-type (Mg-dopearre) |
Wjerstân (3O0K) | < 0,5 Q・cm | < 0,05 Q・cm | ~ 10 Q・cm |
Dragerkonsintraasje | < 5x1017sm-3 | > 1x1018sm-3 | > 6x1016 sm-3 |
Mobiliteit | ~ 300 sm2/Vs | ~ 200 sm2/Vs | ~ 10 sm2/Vs |
Dislokaasjedichtheid | Minder as 5x108sm-2(berekkene troch FWHM's fan XRD) | ||
Substraatstruktuer | GaN op Sapphire (Standert: SSP Opsje: DSP) | ||
Brûkber oerflak | > 90% | ||
Pakket | Ferpakt yn in skjinne keameromjouwing fan klasse 100, yn kassettes fan 25 stikken of konteners mei ien wafer, ûnder in stikstofatmosfear. |
* Oare dikte kin oanpast wurde
Detaillearre diagram


