4H-N/6H-N SiC Wafer Reasearch produksje Dummy grade Dia150mm Silicon carbide substraat
6 inch diameter silisiumkarbid (SiC) substraat spesifikaasje
Klasse | Nul MPD | Produksje | Undersyk Grade | Dummy Grade |
Diameter | 150,0 mm ± 0,25 mm | |||
Dikte | 4H-N | 350um±25um | ||
4H-SI | 500um±25um | |||
Wafer Oriïntaasje | Op as:<0001>±0.5° foar 4H-SI | |||
Primêr Flat | {10-10}±5,0° | |||
Primêr Flat Length | 47,5 mm ± 2,5 mm | |||
Râne útsluting | 3 mm | |||
TTV / Bow / Warp | ≤15um/≤40um/≤60um | |||
Micropipe tichtens | ≤1cm-2 | ≤5cm-2 | ≤15cm-2 | ≤50cm-2 |
Resistivity 4H-N 4H-SI | 0.015~0.028Ω!cm | |||
≥1E5Ω!cm | ||||
Roughness | Poalske Ra ≤1nm CMP Ra≤0.5nm | |||
#Cracks troch ljocht mei hege yntinsiteit | Gjin | 1 tastien ,≤2mm | Kumulative lingte ≤10mm, inkele lingte≤2mm | |
* Hexplaten troch ljocht mei hege yntinsiteit | Kumulatyf gebiet ≤1% | Kumulatyf gebiet ≤ 2% | Kumulatyf gebiet ≤ 5% | |
* Polytype gebieten troch ljocht mei hege yntinsiteit | Gjin | Kumulatyf gebiet ≤ 2% | Kumulatyf gebiet ≤ 5% | |
*& Krassen troch ljocht mei hege yntinsiteit | 3 krassen oan 1 x wafer diameter kumulative lingte | 5 krassen oan 1 x wafer diameter kumulative lingte | 5 krassen oan 1 x wafel diameter kumulative lingte | |
Edge chip | Gjin | 3 tastien, ≤0.5mm elk | 5 tastien, ≤1mm elk | |
Fersmoarging troch ljocht mei hege yntinsiteit | Gjin
|
Ferkeap & Customer Service
Material Purchasing
De ôfdieling foar oankeap fan materialen is ferantwurdlik om alle grûnstoffen te sammeljen dy't nedich binne om jo produkt te produsearjen. Folsleine traceability fan alle produkten en materialen, ynklusyf gemyske en fysike analyse binne altyd beskikber.
Kwaliteit
Tidens en nei de fabrikaazje of ferwurking fan jo produkten is de ôfdieling kwaliteitskontrôle belutsen by it soargjen dat alle materialen en tolerânsjes foldogge oan jo spesifikaasje of oertreffe.
Tsjinst
Wy binne grutsk op it hawwen fan ferkeaptechnysk personiel mei mear dan 5 jier ûnderfiningen yn 'e semiconductorsektor. Se wurde oplaat om technyske fragen te beantwurdzjen en ek tydige sitaten te leverjen foar jo behoeften.
wy binne op elk momint oan jo kant as jo problemen hawwe, en lossen it yn 10 oeren op.