3 inch Hege suverens (ûndotearde) silisiumkarbidwafers heal-isolearjende Sic-substraten (HPSl)
Eigenskippen
1. Fysike en strukturele eigenskippen
● Materiaaltype: Hege suverens (ûndoped) silisiumkarbid (SiC)
●Diameter: 76,2 mm
●Dikte: 0.33-0.5 mm, oanpasber op basis fan tapassingseasken.
● Kristalstruktuer: 4H-SiC polytype mei in hexagonaal rooster, bekend om hege elektronmobiliteit en termyske stabiliteit.
●Oriïntaasje:
oStandert: [0001] (C-flak), geskikt foar in breed skala oan tapassingen.
oOpsjoneel: Off-axis (4° of 8° tilt) foar ferbettere epitaksiale groei fan apparaatlagen.
●Flakheid: Totale diktefariaasje (TTV) ●Oerflakkwaliteit:
oGepolijst oant oLege defekttichtens (<10/cm² mikropiptichtens). 2. Elektryske eigenskippen ●Wjerstân: >109^99 Ω·cm, behâlden troch it eliminearjen fan opsetlike dopants.
● Diëlektryske sterkte: Hege spanningsduurzaamheid mei minimale diëlektryske ferliezen, ideaal foar tapassingen mei hege fermogen.
● Termyske geliedingsfermogen: 3.5-4.9 W/cm·K, wêrtroch effektive waarmteôffier yn apparaten mei hege prestaasjes mooglik is.
3. Termyske en meganyske eigenskippen
● Brede bânkloof: 3.26 eV, stipet operaasje ûnder hege spanning, hege temperatuer en hege strielingsomstannichheden.
●Hurdens: Mohs-skaal 9, wat robuustheid tsjin meganyske slijtage tidens ferwurking garandearret.
● Termyske útwreidingskoëffisjint: 4.2×10−6/K4.2 \times 10^{-6}/\text{K}4.2×10−6/K, wêrtroch dimensjonele stabiliteit ûnder temperatuerfarianten garandearre wurdt.
Parameter | Produksjegraad | Undersyksgraad | Dummy-klasse | Ienheid |
Klasse | Produksjegraad | Undersyksgraad | Dummy-klasse | |
Diameter | 76,2 ± 0,5 | 76,2 ± 0,5 | 76,2 ± 0,5 | mm |
Dikte | 500 ± 25 | 500 ± 25 | 500 ± 25 | µm |
Wafer-oriïntaasje | Op-as: <0001> ± 0.5° | Op-as: <0001> ± 2.0° | Op-as: <0001> ± 2.0° | graad |
Mikropiipdichtheid (MPD) | ≤ 1 | ≤ 5 | ≤ 10 | cm−2^-2−2 |
Elektryske wjerstân | ≥ 1E10 | ≥ 1E5 | ≥ 1E5 | Ω·cm |
Dopant | Undodearre | Undodearre | Undodearre | |
Primêre platte oriïntaasje | {1-100} ± 5.0° | {1-100} ± 5.0° | {1-100} ± 5.0° | graad |
Primêre platte lingte | 32,5 ± 3,0 | 32,5 ± 3,0 | 32,5 ± 3,0 | mm |
Sekundêre platte lingte | 18.0 ± 2.0 | 18.0 ± 2.0 | 18.0 ± 2.0 | mm |
Sekundêre platte oriïntaasje | 90° mei de rjochterkant fan it primêre flak ± 5,0° | 90° mei de rjochterkant fan it primêre flak ± 5,0° | 90° mei de rjochterkant fan it primêre flak ± 5,0° | graad |
Râne-útsluting | 3 | 3 | 3 | mm |
LTV/TTV/Bôge/Kwarp | 3 / 10 / ±30 / 40 | 3 / 10 / ±30 / 40 | 5 / 15 / ±40 / 45 | µm |
Oerflakrûchheid | Si-flak: CMP, C-flak: gepolijst | Si-flak: CMP, C-flak: gepolijst | Si-flak: CMP, C-flak: gepolijst | |
Barsten (ljocht mei hege yntensiteit) | Gjin | Gjin | Gjin | |
Seksideplaten (ljocht mei hege yntensiteit) | Gjin | Gjin | Kumulatyf gebiet 10% | % |
Polytypegebieten (ljocht mei hege yntensiteit) | Kumulatyf gebiet 5% | Kumulatyf gebiet 20% | Kumulatyf gebiet 30% | % |
Krassen (ljocht mei hege yntensiteit) | ≤ 5 krassen, kumulative lingte ≤ 150 | ≤ 10 krassen, kumulative lingte ≤ 200 | ≤ 10 krassen, kumulative lingte ≤ 200 | mm |
Rânefersnipperjen | Gjin ≥ 0,5 mm breedte/djipte | 2 tastien ≤ 1 mm breedte/djipte | 5 tastien ≤ 5 mm breedte/djipte | mm |
Oerflakfersmoarging | Gjin | Gjin | Gjin |
Applikaasjes
1. Krêftelektronika
De brede bandgap en hege termyske geleidingsfermogen fan HPSI SiC-substraten meitsje se ideaal foar krêftapparaten dy't wurkje ûnder ekstreme omstannichheden, lykas:
● Heechspanningsapparaten: Ynklusyf MOSFET's, IGBT's en Schottky Barrier Diodes (SBD's) foar effisjinte stroomkonverzje.
● Duorsume enerzjysystemen: Lykas sinne-omvormers en wynmûnekontrollers.
●Elektryske auto's (EV's): Brûkt yn omvormers, laders en oandriuwingssystemen om effisjinsje te ferbetterjen en grutte te ferminderjen.
2. RF- en mikrogolftaplikaasjes
De hege wjerstân en lege diëlektryske ferliezen fan HPSI-wafers binne essensjeel foar radiofrekwinsje (RF) en mikrogolfsystemen, ynklusyf:
●Telekommunikaasje-ynfrastruktuer: Basisstasjons foar 5G-netwurken en satellytkommunikaasje.
● Loftfeart en definsje: Radarsystemen, phased-array-antennes en avionika-komponinten.
3. Opto-elektroanika
De transparânsje en brede bandgap fan 4H-SiC meitsje it gebrûk mooglik yn opto-elektronyske apparaten, lykas:
● UV-fotodetektors: Foar miljeumonitoring en medyske diagnostyk.
● LED's mei hege krêft: Stipe foar solid-state-ferljochtingssystemen.
●Laserdiodes: Foar yndustriële en medyske tapassingen.
4. Undersyk en ûntwikkeling
HPSI SiC-substraten wurde in soad brûkt yn akademyske en yndustriële R&D-laboratoria foar it ûndersykjen fan avansearre materiaaleigenskippen en apparaatfabrikaasje, ynklusyf:
●Epitaksiale laachgroei: Undersyk nei defektreduksje en laachoptimalisaasje.
● Stúdzjes oer dragermobiliteit: Undersyk nei elektron- en gattransport yn materialen mei hege suverens.
● Prototyping: Inisjele ûntwikkeling fan nije apparaten en circuits.
Foardielen
Superieure kwaliteit:
Hege suverens en lege defekttichtens biede in betrouber platfoarm foar avansearre tapassingen.
Termyske stabiliteit:
Uitstekende waarmteôffiereigenskippen meitsje it mooglik foar apparaten om effisjint te operearjen ûnder hege krêft- en temperatueromstannichheden.
Brede kompatibiliteit:
Beskikbere oriïntaasjes en oanpaste dikte-opsjes soargje foar oanpasberens foar ferskate apparaateasken.
Duorsumens:
Útsûnderlike hurdens en strukturele stabiliteit minimalisearje slijtage en deformaasje tidens ferwurking en operaasje.
Ferskaat:
Geskikt foar in breed skala oan yndustryen, fan duorsume enerzjy oant loftfeart en telekommunikaasje.
Konklúzje
De 3-inch High Purity Semi-Insulating Silicon Carbide wafer fertsjintwurdiget it hichtepunt fan substraattechnology foar apparaten mei hege fermogen, hege frekwinsje en opto-elektronika. De kombinaasje fan poerbêste termyske, elektryske en meganyske eigenskippen soarget foar betroubere prestaasjes yn útdaagjende omjouwings. Fan krêftelektronika en RF-systemen oant opto-elektronika en avansearre R&D, dizze HPSI-substraten foarmje de basis foar de ynnovaasjes fan moarn.
Foar mear ynformaasje of om in bestelling te pleatsen, nim dan kontakt mei ús op. Us technyske team stiet klear om begelieding en oanpassingsopsjes te jaan dy't oanpast binne oan jo behoeften.
Detaillearre diagram



