Ultra-Precision SiC Loftlagerstadium

Koarte beskriuwing:

Mei de trochgeande evolúsje fan 'e healgeleideryndustry freegje ferwurkings- en ynspeksjeapparatuer hieltyd hegere prestaasjes. Bouwend op wiidweidige ekspertize yn bewegingskontrôle en posysjonearring op nanometernivo, hawwe wy in planêre H-type dûbele-assige ultra-presyzje loftlagertrap ûntwikkele.

Stjoer e-post nei ús

Funksjes

Detaillearre diagram

Oersicht

De platfoarm is ûntworpen mei in eindige-elemint-optimalisearre silisiumkarbid (SiC) keramyske struktuer en kompensearre loftlagertechnology, en leveret útsûnderlike krektens, styfheid en dynamyske respons. It is ideaal geskikt foar:

Ferwurking en ynspeksje fan healgeleiders
Mikro/nano-fabrikaazje en metrology
Nanometer-skaal miggen snijden en polearjen
Hege-snelheid presyzje scannen

Wichtige funksjes

SiC loftlagergidsfoar ultrahege stivens en presyzje
Hege dynamyk: snelheid oant 1 m/s, fersnelling oant 4 g, rappe delgong
Y-as mei dûbele oandriuwing fan gantrysoarget foar hege laadkapasiteit en stabiliteit
Encoder-opsjesoptyske raster of laserinterferometer
Posysjonearringsnauwkeurigens: ±0,15 μm;werhellberens±75 nm
Optimalisearre kabelrûtearringfoar skjin ûntwerp en betrouberens op lange termyn
Oanpasbere konfiguraasjesfoar applikaasjespesifike behoeften

Ultra-presyzje ûntwerp & direkte oandriuwing, kontaktleaze arsjitektuer

SiC Keramysk Frame~5× de styfheid fan aluminiumlegering en ~5× legere termyske útwreiding, wêrtroch hege snelheidsstabiliteit en termyske robuustheid garandearre wurde.
Kompensearre loftlagerProprietêr ûntwerp ferbetteret styfheid, laadkapasiteit en bewegingsstabiliteit.
Dynamyske prestaasjesStipet in snelheid fan 1 m/s en in fersnelling fan 4 g, ideaal foar prosessen mei hege trochfier.
Naadleaze yntegraasjeKompatibel mei trillingsisolaasjesystemen, rotearjende podia, tiltmodules en waferhandlingplatfoarms.
KabelbehearKontrolearre bûgingsradius minimalisearret stress foar in ferlingde libbensdoer.

Lineêre motor sûnder kearn: Soepele beweging mei nul tandwielkrêft.
Multi-motor oandriuwingPleatsing fan 'e motor yn it laadflak ferbetteret rjochtheid, flakheid en hoekepresyzje.
Termyske isolaasjeMotors binne isolearre fan 'e poadiumstruktuer; opsjonele loft- of wetterkoeling foar hege syklusen.

Spesifikaasjes

Model	400-400	500-500	600-600
Assen	X (skan) / Y (stap)	X (skan) / Y (stap)	X (skan) / Y (stap)
Reis (mm)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
Krektens (μm)	±0,15	±0.2	±0.2
Werhelberens (nm)	±75	±100	±100
Resolúsje (nm)	0.3	0.3	0.3
Maksimale snelheid (m/s)	1	1	1
Fersnelling (g)	4	4	4
Rjochtheid (μm)	±0.2	±0.3	±0.4
Stabiliteit (nm)	±5	±5	±5
Maksimale lading (kg)	20	20	20
Pitch/Roll/Yaw (bôge-sek)	±1	±1	±1

Testbetingsten:

Loftfoarsjenning: skjin, droech; dauwpunt ≤ 0°F; dieltsjefiltraasje ≤ 0,25 μm; of 99,99% stikstof.
Krektens mjitten 25 mm boppe it sintrum fan it poadium by 20 ± 1 °C, 40–60% RV.

Applikaasjes

Semiconductor litografy, ynspeksje en waferbehanneling
Mikro/nano-fabrikaazje en presyzjemetrology
Produksje fan hege-ein optyske systemen en interferometry
Loftfeart en avansearre wittenskiplik ûndersyk

FAQ - Silisiumkarbide loftlagerstadium

1. Wat is in loftdragende poadium?

In loftdragende poadium brûkt in tinne film fan druklucht tusken it poadium en de gelieding om te soargjenwriuwingleaze, slijtagefrije en ultra-glêde bewegingOars as konvinsjonele meganyske lagers, elimineert it stick-slip, leveret it krektens op nanometernivo, en stipet it betrouberens op lange termyn.

2. Wêrom silisiumkarbid (SiC) brûke foar de poadiumstruktuer?

Hege stivens~5× dy fan aluminiumlegering, wêrtroch deformaasje by dynamyske beweging minimalisearre wurdt.
Lege termyske útwreiding~5× leger as aluminium, wêrtroch de krektens behâlden wurdt ûnder temperatuerfarianten.
LichtgewichtLegere tichtheid yn ferliking mei stiel, wêrtroch hege snelheid en hege fersnelling mooglik binne.
Uitstekende stabiliteitSuperieure demping en styfheid foar ultra-presys posysjonearring.

3. Hat it poadium smering of ûnderhâld nedich?

Gjin tradisjonele smering is nedich, om't dergjin meganysk kontaktOanrikkemandearre ûnderhâld omfettet:

Leverjenskjinne, droege komprimearre loft of stikstof
Periodyke ynspeksje fan filters en droegers
Monitorearjen fan kabels en koelsystemen

4. Wat binne de easken foar loftfoarsjenning?

Dauwpunt: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
Dieltsjefiltraasje: ≤ 0,25 μm
Skjinne, droege loft of 99,99% suvere stikstof
Stabile druk mei minimale fluktuaasje

Oer ús

XKH is spesjalisearre yn hege-tech ûntwikkeling, produksje en ferkeap fan spesjaal optysk glês en nije kristalmaterialen. Us produkten binne bedoeld foar optyske elektroanika, konsuminte-elektroanika en it leger. Wy biede optyske komponinten fan saffier, lensdeksels foar mobile tillefoans, keramyk, LT, silisiumkarbide SIC, kwarts en healgeleiderkristalwafers. Mei betûfte ekspertize en topmoderne apparatuer binne wy útsûnderlik yn net-standert produktferwurking, mei as doel in liedende hege-tech ûndernimming te wêzen opto-elektroanyske materialen.