SiO2 Thin Film Thermal Oxide Silicon wafer 4 inch 6 inch 8 inch 12 inch
Yntrodusearje fan wafer box
It haadproses fan it produsearjen fan oksideare silisiumwafels omfettet normaal de folgjende stappen: groei fan monokristallijn silisium, snijden yn wafels, polearjen, skjinmeitsjen en oksidaasje.
Monokristallijn silisium groei: Earst wurdt monokristallijn silisium groeid op hege temperatueren troch metoaden lykas de Czochralski-metoade of de Float-zone-metoade. Dizze metoade makket it tarieden fan silisium single kristallen mooglik mei hege suverens en lattice yntegriteit.
Dicing: De groeid monokristallijn silisium is meastal yn in silindryske foarm en moat wurde snije yn tinne wafels te brûkt wurde as in wafel substraat. Cutting wurdt meastal dien mei in diamant cutter.
Polisjen: It oerflak fan 'e besunige wafel kin unjildich wêze en fereasket gemysk-meganyske polearjen om in glêd oerflak te krijen.
Reiniging: De gepolijst wafel wurdt skjinmakke om ûnreinheden en stof te ferwiderjen.
Oxidearjen: As lêste wurde de silisiumwafels yn in hege temperatuerofen set foar oksidearjende behanneling om in beskermjende laach silisiumdioxide te foarmjen om har elektryske eigenskippen en meganyske sterkte te ferbetterjen, en ek om te tsjinjen as in isolearjende laach yn yntegreare circuits.
De wichtichste gebrûk fan oksidearre silisium wafers omfetsje de fabrikaazje fan yntegreare circuits, de fabrikaazje fan sinnesellen, en de fabrikaazje fan oare elektroanyske apparaten. Silisium okside wafers wurde in protte brûkt op it mêd fan semiconductor materialen fanwege harren treflike meganyske eigenskippen, dimensionale en gemyske stabiliteit, mooglikheid om te operearjen by hege temperatueren en hege druk, likegoed as goede isolearjende en optyske eigenskippen.
Syn foardielen befetsje in folsleine kristal struktuer, suver gemyske gearstalling, krekte ôfmjittings, goede meganyske eigenskippen, ensfh Dizze eigenskippen meitsje silisium okside wafers benammen geskikt foar it meitsjen fan hege-optreden yntegrearre circuits en oare mikro-elektroanyske apparaten.