Silisiumkarbide keramyske tray sûger Silisiumkarbide keramyske buisfoarsjenning hege temperatuer sintering oanpaste ferwurking

Koarte beskriuwing:

Silisiumkarbide keramyske tray en silisiumkarbide keramyske buizen binne ûnmisbere materialen mei hege prestaasjes yn 'e produksje fan healgeleiders. Silisiumkarbide keramyske tray wurdt benammen brûkt yn waferferwurking mei fêste lagen en lagers, om de stabiliteit fan hege-presyzje prosessen te garandearjen; Silisiumkarbide keramyske buizen wurde in soad brûkt yn hege-temperatuer ovenbuizen, diffúzje ovenbuizen en oare senario's om ekstreme omjouwings te wjerstean en effisjint termysk behear te behâlden. Beide binne basearre op silisiumkarbid as kearnmateriaal, dat in kaaikomponint wurden is yn 'e healgeleideryndustry fanwegen syn poerbêste fysike en gemyske eigenskippen.

Stjoer e-post nei ús

Produktdetail

Produktlabels

Wichtichste funksjes:

1. Silisiumkarbid keramyske bak
- Hege hurdens en wearzebestriding: de hurdens is tichtby diamant, en kin meganyske slijtage yn waferferwurking foar in lange tiid ferneare.
- Hege termyske geliedingsfermogen en lege termyske útwreidingskoëffisjint: rappe waarmteôffier en dimensjonele stabiliteit, wêrtroch deformaasje feroarsake troch termyske stress foarkommen wurdt.
- Hege flakheid en oerflakteôfwerking: De oerflakteflakheid is oant it mikronnivo, wêrtroch folslein kontakt tusken de wafer en de skiif garandearre wurdt, wêrtroch fersmoarging en skea fermindere wurde.
Gemyske stabiliteit: Sterke korrosjebestriding, geskikt foar wiete reiniging en etsprosessen yn healgeleiderproduksje.
2. Silisiumkarbide keramyske buis
- Hege temperatuerresistinsje: It kin lange tiid wurkje yn in hege temperatueromjouwing boppe 1600 °C, geskikt foar healgeleiderproses mei hege temperatuer.
Uitstekende korrosjebestriding: resistint tsjin soeren, alkaliën en in ferskaat oan gemyske oplosmiddels, geskikt foar rûge prosesomjouwings.
- Hege hurdens en wearzebestriding: wjerstean dieltsjeeroazje en meganyske slijtage, ferlingje de libbensdoer.
- Hege termyske geliedingsfermogen en lege koëffisjint fan termyske útwreiding: rappe waarmtegelieding en dimensjonele stabiliteit, fermindering fan deformaasje of barsten feroarsake troch termyske stress.

Produktparameter:

Parameter fan silisiumkarbide keramyske tray:

(Materiële eigenskip)		(Ienheid)	(ssic)
(SiC-ynhâld)		(Gew.)%	>99
(Gemiddelde kerrelgrutte)		mikron	4-10
(Tichtens)		kg/dm3	>3.14
(Skynbere porositeit)		Vo1%	<0.5
(Vickers hurdens)	HV 0.5	GPa	28
() Bûgingssterkte (trije punten)	20ºC	MPa	450
(Kompressive sterkte)	20ºC	MPa	3900
(Elastyske modulus)	20ºC	GPa	420
(Breuktaaiens)		MPa/m'%	3.5
(Termyske geliedingsfermogen)	20°ºC	W/(m*K)	160
(Wjerstân)	20°ºC	Ohm.cm	106-108
(Termyske útwreidingskoëffisjint)	in (RT**...80ºC)	K-1*10-6	4.3
(Maksimale wurktemperatuer)		oºC	1700

Parameter fan silisiumkarbide keramyske buis:

Artikelen	Yndeks
α-SIC	99% min
Skynbere porositeit	16% maks.
Bulkdichtheid	2,7 g/cm³ min
Bûgingssterkte by hege temperatuer	100 MPa min
Koëffisjint fan termyske útwreiding	K-1 4.7x10 -6
Koëffisjint fan termyske konduktiviteit (1400ºC)	24 W/mk
Maks. wurktemperatuer	1650ºC

Wichtichste tapassingen:

1. Silisiumkarbide keramyske plaat
- Wafersnijden en -polearjen: tsjinnet as in lagerplatfoarm om hege presyzje en stabiliteit te garandearjen by it snijden en polearjen.
- Litografyproses: De wafer wurdt fêstmakke yn 'e litografymasine om hege presyzjeposysjonearring tidens bleatstelling te garandearjen.
- Gemysk Mechanysk Polijsten (CMP): fungearret as in stipeplatfoarm foar polijstpads, en soarget foar unifoarme druk- en waarmteferdieling.
2. Silisiumkarbide keramyske buis
- Hegetemperatuerovenbuis: brûkt foar hegetemperatuerapparatuer lykas diffúzjeovens en oksidaasjeovens om wafers te dragen foar hege temperatuerprosesbehanneling.
- CVD/PVD-proses: As in lagerbuis yn 'e reaksjekeamer, resistint tsjin hege temperatueren en korrosive gassen.
- Accessoires foar healgeleiderapparatuer: foar waarmtewikselers, gaspipelines, ensfh., om de termyske beheareffisjinsje fan apparatuer te ferbetterjen.
XKH biedt in folslein oanbod fan oanpaste tsjinsten foar silisiumkarbide keramyske trays, sûchnappen en silisiumkarbide keramyske buizen. Silisiumkarbide keramyske trays en sûchnappen kinne oanpast wurde oan klanteasken fan ferskate maten, foarmen en oerflakrûchheid, en stypje spesjale coatingbehanneling, ferbetterje wearbestindigens en korrosjebestriding; Foar silisiumkarbide keramyske buizen kin XKH in ferskaat oan binnendiameter, bûtendiameter, lingte en komplekse struktuer (lykas foarme buis of poreuze buis) oanpasse, en polyst-, anty-oksidaasjecoating en oare oerflakbehannelingsprosessen leverje. XKH soarget derfoar dat klanten folslein profitearje kinne fan 'e prestaasjefoardielen fan silisiumkarbide keramyske produkten om te foldwaan oan' e easken fan high-end produksjefjilden lykas healgeleiders, leds en fotovoltaïca.