SiC Keramyske Foarkearm / Eineffektor - Avansearre Presyzjebehanneling foar Semiconductorproduksje

SiC Keramyske Foarkearm / Eineffektor - Avansearre Presyzjebehanneling foar Semiconductor Manufacturing Featured Image

Koarte beskriuwing:

De SiC Keramyske Foarkearm, faak oantsjutten as in Keramyske Eineffektor, is in hege prestaasjes presyzje-ôfhannelingskomponint spesifyk ûntwikkele foar wafertransport, útrjochting en posysjonearring yn hege-tech yndustry, benammen binnen healgeleider- en fotovoltaïsche produksje. Dizze komponint, makke mei hege suverens silisiumkarbidkeramyk, kombinearret útsûnderlike meganyske sterkte, ultra-lege termyske útwreiding en superieure wjerstân tsjin termyske skok en korrosje.

Stjoer e-post nei ús

Funksjes

Detaillearre diagram

Produkt Oersjoch

Oars as tradisjonele ein-effektoren makke fan aluminium, roestfrij stiel, of sels kwarts, biede SiC keramyske ein-effektoren ongeëvenaarde prestaasjes yn fakuümkeamers, skjinne keamers en rûge ferwurkingsomjouwings, wêrtroch't se in wichtich ûnderdiel binne fan waferbehannelingsrobots fan 'e folgjende generaasje. Mei de tanimmende fraach nei fersmoargingsfrije produksje en strakkere tolerânsjes yn chipmaking, wurdt it gebrûk fan keramyske ein-effektoren rap de yndustrystandert.

Produksjeprinsipe

De fabrikaazje fanSiC Keramyske Eineffektorsomfettet in searje prosessen mei hege presyzje en hege suverens dy't sawol prestaasjes as duorsumens garandearje. Twa haadprosessen wurde typysk brûkt:

Reaksje-bonded silisiumkarbid (RB-SiC)

Yn dit proses wurdt in foarfoarm makke fan silisiumkarbidpoeier en binder by hege temperatueren (~1500 °C) ynfiltrearre mei smelten silisium, dat reagearret mei oerbleaune koalstof om in tichte, stive SiC-Si-komposit te foarmjen. Dizze metoade biedt poerbêste dimensjonele kontrôle en is kosteneffektyf foar produksje op grutte skaal.

Drukleaze sintere silisiumkarbid (SSiC)

SSiC wurdt makke troch it sinterjen fan ultrafijn, heechsuver SiC-poeier by ekstreem hege temperatueren (>2000 °C) sûnder gebrûk fan tafoegings of in bindingsfaze. Dit resulteart yn in produkt mei hast 100% tichtheid en de heechste meganyske en termyske eigenskippen dy't beskikber binne ûnder SiC-materialen. It is ideaal foar ultra-krityske wafer-ôfhannelingstapassingen.

Neiferwurking

Presyzje CNC-ferwurkingBerikt hege flakheid en parallellisme.
OerflakôfwerkingDiamantpolijsten ferminderet oerflakteruwheid nei <0,02 µm.
YnspeksjeOptyske ynterferometry, CMM, en net-destruktive testen wurde brûkt om elk stik te ferifiearjen.

Dizze stappen garandearje dat deSiC-eineffektorleveret konsekwinte waferpleatsingsnauwkeurigens, poerbêste planariteit en minimale dieltsjegeneraasje.

Wichtige funksjes en foardielen

Eigenskip	Beskriuwing
Ultra-hege hurdens	Vickers-hurdens > 2500 HV, wjerstân tsjin slijtage en ôfbrokkeljen.
Lege termyske útwreiding	CTE ~4.5×10⁻⁶/K, wêrtroch dimensjonele stabiliteit yn termyske syklussen mooglik is.
Gemyske inertheid	Bestindich tsjin HF, HCl, plasmagassen en oare korrosive aginten.
Uitstekende termyske skokbestindigens	Geskikt foar rappe ferwaarming/koeling yn fakuüm- en ovensystemen.
Hege rigiditeit en sterkte	Stipet lange útkragende foarkearmen sûnder ôfbûging.
Lege útgassen	Ideaal foar ultra-hege fakuüm (UHV) omjouwings.
ISO Klasse 1 Skjinnekeamerklear	Partikelfrije operaasje soarget foar de yntegriteit fan wafers.

Applikaasjes

De SiC Keramyske Foarkearm / Eineffektor wurdt in soad brûkt yn yndustryen dy't ekstreme presyzje, skjinens en gemyske wjerstân fereaskje. Wichtige tapassingsscenario's omfetsje:

Healgeleiderproduksje

Wafer laden/lossen yn ôfsettingssystemen (CVD, PVD), etsen (RIE, DRIE) en skjinmeitsjen.
Robotysk wafertransport tusken FOUP's, kassettes en prosesark.
Hege temperatuerbehanneling tidens termyske ferwurking of annealing.

Produksje fan fotovoltaïske sellen

Delikaat ferfier fan kwetsbere silisiumwafers of sinnesubstraten yn automatisearre linen.

Flat Panel Display (FPD) Yndustry

It ferpleatsen fan grutte glêzen panielen of substraten yn OLED/LCD-produksjeomjouwings.

Gearstalde healgeleider / MEMS

Gebrûkt yn GaN-, SiC- en MEMS-fabrikaazjelinen wêr't fersmoargingskontrôle en posysjonearringskrektens krúsjaal binne.

Syn rol as ein-effektor is foaral kritysk om te soargjen foar defektfrije, stabile ôfhanneling tidens gefoelige operaasjes.

Oanpassingsmooglikheden

Wy biede wiidweidige oanpassingsmooglikheden om te foldwaan oan ferskate easken foar apparatuer en prosessen:

FoarkeûntwerpTwa-punts, meardere fingers, of split-level-layouts.
Kompatibiliteit fan wafergrutteFan 2” oant 12” wafers.
Montage-ynterfacesKompatibel mei OEM robotearms.
Dikte en oerflaktolerânsjesMikron-nivo flakheid en râneôfrûning beskikber.
AntislipfunksjesOpsjonele oerflaktetekstueren of coatings foar feilige wafergrip.

Elkkeramyske ein-effektoris tegearre mei kliïnten ûntworpen om presys oanpassing te garandearjen mei minimale arkwikselingen.

Faak stelde fragen (FAQ)

F1: Hoe is SiC better as kwarts foar in ein-effektor-tapassing?
A1:Hoewol kwarts faak brûkt wurdt fanwegen syn suverens, mist it meganyske taaiheid en is it gefoelich foar brekken ûnder lading of temperatuerskok. SiC biedt superieure sterkte, slijtvastheid en termyske stabiliteit, wêrtroch it risiko op downtime en waferskea signifikant ferminderet.

F2: Is dizze keramyske foarkearm kompatibel mei alle robotyske waferbehannelers?
A2:Ja, ús keramyske ein-effektoren binne kompatibel mei de measte grutte wafer-ôfhannelingssystemen en kinne oanpast wurde oan jo spesifike robotmodellen mei krekte technyske tekeningen.

F3: Kin it wafers fan 300 mm behannelje sûnder te ferfoarmjen?
A3:Absoluut. De hege styfheid fan SiC makket it mooglik foar sels tinne, lange foarkearmen om wafers fan 300 mm feilich te hâlden sûnder te sakjen of te bûgjen tidens beweging.

F4: Wat is de typyske libbensdoer fan in SiC keramyske ein-effektor?
A4:Mei goed gebrûk kin in SiC-eineffektor 5 oant 10 kear langer duorje as tradisjonele kwarts- of aluminiummodellen, tanksij syn poerbêste wjerstân tsjin termyske en meganyske stress.

F5: Biede jo ferfangingen of rappe prototypingtsjinsten oan?
A5:Ja, wy stypje rappe stekproefproduksje en biede ferfangende tsjinsten oan basearre op CAD-tekeningen of reverse-engineered ûnderdielen fan besteande apparatuer.

Oer ús

XKH is spesjalisearre yn hege-tech ûntwikkeling, produksje en ferkeap fan spesjaal optysk glês en nije kristalmaterialen. Us produkten binne bedoeld foar optyske elektroanika, konsuminte-elektroanika en it leger. Wy biede optyske komponinten fan saffier, lensdeksels foar mobile tillefoans, keramyk, LT, silisiumkarbide SIC, kwarts en healgeleiderkristalwafers. Mei betûfte ekspertize en topmoderne apparatuer binne wy útsûnderlik yn net-standert produktferwurking, mei as doel in liedende hege-tech ûndernimming te wêzen opto-elektroanyske materialen.