Mikrojet-lasertechnologyapparatuer wafer-snijden SiC-materiaalferwurking
Wurkprinsipe:
1. Laserkoppeling: pulsearre laser (UV/grien/ynfraread) wurdt rjochte yn 'e floeistofstraal om in stabyl enerzjy-oerdrachtkanaal te foarmjen.
2. Floeistofbegelieding: hege-snelheidsstraal (streamsnelheid 50-200m/s) dy't it ferwurkingsgebiet koelt en pún fuortnimt om waarmteopbou en fersmoarging te foarkommen.
3. Materiaalferwidering: De laserenerzjy feroarsaket in kavitaasje-effekt yn 'e floeistof om kâlde ferwurking fan it materiaal te berikken (waarmte-beynfloede sône <1μm).
4. Dynamyske kontrôle: oanpassing yn realtime fan laserparameters (krêft, frekwinsje) en straaldruk om te foldwaan oan 'e behoeften fan ferskate materialen en struktueren.
Wichtige parameters:
1. Laserkrêft: 10-500W (ferstelber)
2. Straaldiameter: 50-300μm
3. Bearbeitingsnauwkeurigens: ±0.5μm (snijden), djipte-breedteferhâlding 10:1 (boarjen)

Technyske foardielen:
(1) Hast gjin waarmteskea
- Floeibere jetkoeling kontrolearret de waarmte-beynfloede sône (HAZ) nei **<1μm**, wêrtroch mikro-barsten feroarsake troch konvinsjonele laserferwurking foarkomt wurde (HAZ is meastentiids >10μm).
(2) Ultra-hege presyzje ferwurking
- Snij-/boarkrektens oant **±0.5μm**, rânerûchheid Ra<0.2μm, ferminderet de needsaak foar folgjende polijsting.
- Stipe komplekse 3D-struktuerferwurking (lykas konyske gatten, foarme slots).
(3) Brede materiaalkompatibiliteit
- Hurde en brosse materialen: SiC, saffier, glês, keramyk (tradisjonele metoaden binne maklik te fersplinterjen).
- Waarmtegefoelige materialen: polymearen, biologyske weefsels (gjin risiko op termyske denaturaasje).
(4) Miljeubeskerming en effisjinsje
- Gjin stoffersmoarging, floeistof kin wurde recycled en filtere.
- 30%-50% ferheging fan ferwurkingssnelheid (vs. masinearjende bewerking).
(5) Intelligente kontrôle
- Yntegreare fisuele posysjonearring en AI-parameteroptimalisaasje, adaptive materiaaldikte en defekten.
Technyske spesifikaasjes:
Oanrjochtblad folume | 300*300*150 | 400*400*200 |
Lineêre as XY | Lineêre motor. Lineêre motor. | Lineêre motor. Lineêre motor. |
Lineêre as Z | 150 | 200 |
Posysjonearringsnauwkeurigens μm | +/-5 | +/-5 |
Werhelle posysjonearringskrektens μm | +/-2 | +/-2 |
Fersnelling G | 1 | 0.29 |
Numerike kontrôle | 3 assen /3+1 as /3+2 assen | 3 assen /3+1 as /3+2 assen |
Numerike kontrôletype | DPSS Nd:YAG | DPSS Nd:YAG |
Golflingte nm | 532/1064 | 532/1064 |
Nominaal fermogen W | 50/100/200 | 50/100/200 |
Wetterstraal | 40-100 | 40-100 |
Nozzle drukbalke | 50-100 | 50-600 |
Ofmjittings (masine-ark) (breedte * lingte * hichte) mm | 1445*1944*2260 | 1700*1500*2120 |
Grutte (kontrôlekast) (B * L * H) | 700*2500*1600 | 700*2500*1600 |
Gewicht (apparatuer) T | 2.5 | 3 |
Gewicht (kontrôlekast) KG | 800 | 800 |
Ferwurkingsfermogen | Oerflak rûchheid Ra≤1.6um Iepeningssnelheid ≥1.25mm/s Omtreksnijden ≥6mm/s Lineêre snijsnelheid ≥50mm/s | Oerflak rûchheid Ra≤1.2um Iepeningssnelheid ≥1.25mm/s Omtreksnijden ≥6mm/s Lineêre snijsnelheid ≥50mm/s |
Foar galliumnitridekristal, ultra-brede bandgap healgeleidermaterialen (diamant/galliumokside), spesjale materialen foar de loftfeart, LTCC koalstofkeramyk substraat, fotovoltaïsk, scintillatorkristal en oare materiaalferwurking. Opmerking: Ferwurkingskapasiteit ferskilt ôfhinklik fan materiaaleigenskippen
|
Ferwurkingssaak:

Tsjinsten fan XKH:
XKH biedt in folslein oanbod fan folsleine libbenssyklustsjinststipe foar apparatuer foar mikrojet-lasertechnology, fan 'e iere prosesûntwikkeling en oerlis oer apparatuerseleksje, oant de oanpaste systeemyntegraasje op middellange termyn (ynklusyf de spesjale oanpassing fan laserboarne, jetsysteem en automatisearringsmodule), oant de lettere training yn operaasje en ûnderhâld en trochgeande prosesoptimalisaasje, it heule proses is foarsjoen fan profesjonele technyske teamstipe; Basearre op 20 jier ûnderfining mei presyzjebewerking, kinne wy ien-stop-oplossingen leverje, ynklusyf apparatuerferifikaasje, ynlieding ta massaproduksje en rappe reaksje nei ferkeap (24 oeren technyske stipe + wichtige reserveûnderdielenreserve) foar ferskate yndustryen lykas healgeleiders en medysk, en tasizze 12 moannen lange garânsje en libbenslange ûnderhâlds- en upgradeservice. Soargje derfoar dat klantapparatuer altyd liedende ferwurkingsprestaasjes en stabiliteit behâldt.
Detaillearre diagram


