8inch SiC Production grade wafer 4H-N SiC substraat

Koarte beskriuwing:

8-inch SiC substraten wurde brûkt yn hege-power elektroanyske apparaten, lykas macht MOSFETs (Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistors), Schottky diodes en oare macht semiconductor apparaten.

Stjoer e-mail nei ús

Produkt Detail

Produkt Tags

De folgjende tabel toant de spesifikaasjes fan ús 8inch SiC wafers:

8inch N-type SiC DSP Specs
Nûmer	Ûnderdiel	Ienheid	Produksje	Ûndersyk	Dummy
1: parameter
1.1	polytype	--	4H	4H	4H
1.2	oerflak oriïntaasje	°	<11-20>4±0,5	<11-20>4±0,5	<11-20>4±0,5
2: Elektryske parameter
2.1	dopant	--	n-type stikstof	n-type stikstof	n-type stikstof
2.2	resistivity	omt ·cm	0.015~0.025	0.01~0.03	NA
3: meganyske parameter
3.1	diameter	mm	200±0,2	200±0,2	200±0,2
3.2	dikte	μm	500±25	500±25	500±25
3.3	Notch oriïntaasje	°	[1- 100]±5	[1- 100]±5	[1- 100]±5
3.4	Notch Djipte	mm	1~1.5	1~1.5	1~1.5
3.5	LTV	μm	≤5(10mm*10mm)	≤5(10mm*10mm)	≤10(10mm*10mm)
3.6	TTV	μm	≤10	≤10	≤15
3.7	Bôge	μm	-25~25	-45~45	-65~65
3.8	Warp	μm	≤30	≤50	≤70
3.9	AFM	nm	Ra≤0.2	Ra≤0.2	Ra≤0.2
4: struktuer
4.1	micropipe tichtens	ea/cm2	≤2	≤10	≤50
4.2	metalen ynhâld	atomen/cm2	≤1E11	≤1E11	NA
4.3	TSD	ea/cm2	≤500	≤1000	NA
4.4	BPD	ea/cm2	≤2000	≤5000	NA
4.5	TED	ea/cm2	≤7000	≤10000	NA
5.Front kwaliteit
5.1	front	--	Si	Si	Si
5.2	oerflak finish	--	Si-face CMP	Si-face CMP	Si-face CMP
5.3	dieltsje	ea/wafer	≤100 (grutte≥0.3μm)	NA	NA
5.4	kratsje	ea/wafer	≤5, Totale Lengte≤200mm	NA	NA
5.5	Râne chips / ynspringen / cracks / vlekken / fersmoarging	--	Gjin	Gjin	NA
5.6	Polytype gebieten	--	Gjin	Gebiet ≤10%	Gebiet ≤30%
5.7	front marking	--	Gjin	Gjin	Gjin
6: Efterkant kwaliteit
6.1	werom finish	--	C-gesicht MP	C-gesicht MP	C-gesicht MP
6.2	kratsje	mm	NA	NA	NA
6.3	Back mankeminten râne chips / ynspringen	--	Gjin	Gjin	NA
6.4	Back rûchheid	nm	Ra≤5	Ra≤5	Ra≤5
6.5	Back markearring	--	Notch	Notch	Notch
7: rju
7.1	râne	--	Chamfer	Chamfer	Chamfer
8: pak
8.1	ferpakking	--	Epi-klear mei fakuüm ferpakking	Epi-klear mei fakuüm ferpakking	Epi-klear mei fakuüm ferpakking
8.2	ferpakking	--	Multi-wafer cassette ferpakking	Multi-wafer cassette ferpakking	Multi-wafer cassette ferpakking