6inch SiC Epitaxiy wafer N / P type akseptearje oanpast

Koarte beskriuwing:

in foarsjen 4, 6, 8 inch silisiumkarbid epitaksiale wafer en epitaksiale gieterij tsjinsten, produksje (600V ~ 3300V) macht apparaten ynklusyf SBD, JBS, PiN, MOSFET, JFET, BJT, GTO, IGBT ensafuorthinne.

Wy kinne 4-inch en 6-inch SiC epitaksiale wafers leverje foar fabrikaazjes fan krêftapparaten ynklusyf SBD JBS PiN MOSFET JFET BJT GTO & IGBT fan 600V oant 3300V

Stjoer e-mail nei ús

Produkt Detail

Produkt Tags

It tariedingsproses fan epitaksiale silisiumkarbidwafer is in metoade dy't gebrûk makket fan Chemical Vapor Deposition (CVD) technology.De folgjende binne de relevante technyske prinsipes en stappen fan it tariedingsproses:

Technysk prinsipe:

Gemyske dampdeposysje: It gebrûk fan it grûnstofgas yn 'e gasfaze, ûnder spesifike reaksjebetingsten, wurdt it ûntbûn en dellein op it substraat om de winske tinne film te foarmjen.

Gasfasereaksje: Troch pyrolyse of kraakreaksje wurde ferskate grûnstofgassen yn 'e gasfaze gemysk feroare yn 'e reaksjekeamer.

Stappen fan it tariedingsproses:

Substraatbehandeling: It substraat wurdt ûnderwurpen oan oerflakreiniging en foarbehanneling om de kwaliteit en kristalliniteit fan 'e epitaksiale wafel te garandearjen.

Reaksje keamer debuggen: oanpasse de temperatuer, druk en flow rate fan de reaksje keamer en oare parameters te garandearjen de stabiliteit en kontrôle fan de reaksje betingsten.

Oanfier fan grûnstoffen: leverje de fereaske gasgrûnstoffen yn 'e reaksjekeamer, mingje en kontrolearje de streamsnelheid as nedich.

Reaksjeproses: Troch de reaksjekeamer te ferwaarmjen, ûndergiet it gasfoarmige feed in gemyske reaksje yn 'e keamer om de winske ôfsetting te meitsjen, dat wol sizze silisiumkarbidfilm.

Koelje en lossen: Oan 'e ein fan' e reaksje wurdt de temperatuer stadichoan ferlege om de ôfsettings yn 'e reaksjekeamer te koelen en te ferstevigjen.

Epitaksiale wafer annealing en post-ferwurking: de ôfset epitaxial wafer wurdt annealed en post-ferwurke te ferbetterjen syn elektryske en optyske eigenskippen.

De spesifike stappen en betingsten fan it silisiumkarbid epitaksiale wafer-tariedingsproses kinne ferskille ôfhinklik fan 'e spesifike apparatuer en easken.It boppesteande is allinich in algemiene prosesstream en prinsipe, de spesifike operaasje moat oanpast en optimalisearre wurde neffens de eigentlike situaasje.