6 inch geleidende SiC-kompositsubstraat 4H diameter 150 mm Ra≤0,2 nm Warp≤35 μm
Technyske parameters
Artikelen | Produksjeklasse | Dummyklasse |
Diameter | 6-8 inch | 6-8 inch |
Dikte | 350/500±25.0 μm | 350/500±25.0 μm |
Polytype | 4H | 4H |
Wjerstân | 0.015-0.025 ohm·cm | 0.015-0.025 ohm·cm |
TTV | ≤5 μm | ≤20 μm |
Ferfoarming | ≤35 μm | ≤55 μm |
Rûchheid oan 'e foarkant (Si-face) | Ra≤0.2 nm (5μm × 5μm) | Ra≤0.2 nm (5μm × 5μm) |
Wichtige funksjes
1. Kostenfoardiel: Us 6-inch geleidende SiC-kompositsubstraat brûkt eigen "graded buffer layer"-technology dy't de materiaalkomposysje optimalisearret om de kosten foar grûnstoffen mei 38% te ferminderjen, wylst poerbêste elektryske prestaasjes behâlden wurde. Werkelike mjittingen litte sjen dat 650V MOSFET-apparaten dy't dit substraat brûke in fermindering fan 42% yn kosten per ienheidsoppervlakte berikke yn ferliking mei konvinsjonele oplossingen, wat wichtich is foar it befoarderjen fan de oannimmen fan SiC-apparaten yn konsuminte-elektroanika.
2. Uitstekende geleidende eigenskippen: Troch krekte stikstofdopingkontrôleprosessen berikt ús 6-inch geleidende SiC-kompositsubstraat in ultra-lege wjerstân fan 0.012-0.022Ω·cm, mei fariaasje kontroleare binnen ±5%. It is opmerklik dat wy de wjerstânsuniformiteit behâlde, sels binnen it 5 mm rânegebiet fan 'e wafer, wêrtroch in lang besteand probleem fan râneeffekten yn 'e yndustry oplost wurdt.
3. Termyske prestaasjes: In 1200V/50A-module ûntwikkele mei ús substraat lit mar in temperatuerferheging fan 45℃ sjen boppe de omjouwingstemperatuer by folsleine lading - 65℃ leger as fergelykbere apparaten op silisiumbasis. Dit wurdt mooglik makke troch ús "3D termyske kanaal" gearstalde struktuer dy't de laterale termyske gelieding ferbetteret nei 380W/m·K en de fertikale termyske gelieding nei 290W/m·K.
4. Prosestkompatibiliteit: Foar de unike struktuer fan 6-inch geleidende SiC-kompositsubstraten hawwe wy in oerienkommende stealth-laser-snijproses ûntwikkele dat in snijsnelheid fan 200 mm/s berikt, wylst râne-ôfbrokken ûnder 0,3 μm kontrolearre wurdt. Derneist biede wy foarfernikkelde substratopsjes oan dy't direkte stansferbining mooglik meitsje, wêrtroch klanten twa prosesstappen besparje.
Haadtapassingen
Krityske Smart Grid-apparatuer:
Yn ultra-hege spanning gelijkstroom (UHVDC) transmissiesystemen dy't wurkje op ±800kV, litte IGCT-apparaten dy't ús 6-inch geleidende SiC-kompositsubstraten brûke opmerklike prestaasjeferbetteringen sjen. Dizze apparaten berikke in reduksje fan 55% yn skeakelferliezen tidens kommutaasjeprosessen, wylst de totale systeemeffisjinsje tanimt nei mear as 99,2%. De superieure termyske geliedingsfermogen fan 'e substraten (380W/m·K) makket kompakte converter-ûntwerpen mooglik dy't de foetôfdruk fan substasjons mei 25% ferminderje yn ferliking mei konvinsjonele silisium-basearre oplossingen.
Nije enerzjy-auto-oandriuwingen:
It oandriuwsysteem mei ús 6-inch geleidende SiC-kompositsubstraten berikt in noch nea earder sjoen omfoarmerkrêftdichtheid fan 45 kW/L - in ferbettering fan 60% yn ferliking mei har foarige 400V silisium-basearre ûntwerp. It meast yndrukwekkende is dat it systeem in effisjinsje fan 98% behâldt oer it heule wurktemperatuerberik fan -40 ℃ oant +175 ℃, wêrtroch't de útdagings foar prestaasjes yn kâld waar oplost wurde dy't de oannimmen fan elektryske auto's yn noardlike klimaten teistere hawwe. Testen yn 'e praktyk litte in ferheging fan 7,5% sjen yn it winterberik foar auto's dy't mei dizze technology útrisd binne.
Yndustriële fariabele frekwinsje-oandriuwingen:
De oannimmen fan ús substraten yn yntelliginte krêftmodules (IPM's) foar yndustriële servosystemen transformearret de produksjeautomatisearring. Yn CNC-ferwurkingssintra leverje dizze modules in 40% rapper motorreaksje (ferminderje de fersnellingstiid fan 50ms nei 30ms) wylst se elektromagnetyske lûd mei 15dB nei 65dB(A) ferminderje.
Konsuminte-elektroanika:
De revolúsje yn konsuminte-elektroanika giet troch mei ús substraten dy't de folgjende generaasje 65W GaN-snelladers mooglik meitsje. Dizze kompakte stroomadapters berikke in folumereduksje fan 30% (oant 45 sm³) wylst se it folsleine fermogen behâlde, tanksij de superieure skeakelingseigenskippen fan SiC-basearre ûntwerpen. Termyske ôfbylding lit maksimale kasttemperatueren sjen fan mar 68 °C tidens trochgeande operaasje - 22 °C koeler as konvinsjonele ûntwerpen - wat de libbensdoer en feiligens fan it produkt signifikant ferbetteret.
XKH Oanpassingstsjinsten
XKH biedt wiidweidige oanpassingsstipe foar 6-inch geleidende SiC-kompositsubstraten:
Dikte-oanpassing: Opsjes ynklusyf spesifikaasjes fan 200μm, 300μm en 350μm
2. Wjerstânskontrôle: Ferstelbere n-type dopingkonsintraasje fan 1 × 10¹⁸ oant 5 × 10¹⁸ cm⁻³
3. Kristaloriïntaasje: Stipe foar meardere oriïntaasjes, ynklusyf (0001) bûten de as 4° of 8°
4. Testtsjinsten: Folsleine rapporten oer parametertests op wafernivo
Us hjoeddeistige trochrintiid fan prototyping oant massaproduksje kin mar 8 wiken wêze. Foar strategyske klanten biede wy tawijde prosesûntwikkelingstsjinsten oan om perfekte oerienstimming mei apparaateasken te garandearjen.


