4 inch 6 inch Lithium niobaat ienkristalfilm LNOI-wafer
It tariedingsproses fan LNOI-materialen is benammen ferdield yn de folgjende fjouwer stappen
(1) He-ionen waarden mei in bepaalde enerzjy yn it X-cut lithium niobaatmateriaal ynjektearre en yn 'e defektlaach ynfierd op in bepaalde djipte ûnder de oerflaklaach fan lithium niobaat;
(2) It mei ionen ymplantearre lithium niobaatmateriaal wurdt mei in oksidelaach oan in silisiumsubstraat ferbûn om in bindingsstruktuer te foarmjen;
(3) De bindingsstruktuer waard gloeid om de defekten dy't feroarsake waarden troch He-ionymplantaasje te ûntwikkeljen en te aggregearjen om barsten te foarmjen. Uteinlik waard it lithiumniobat lâns de defektlaach skieden om de oerbleaune lithiumniobatplakjes en LNOI-wafers te foarmjen.
Tapassingen en foardielen fan LNOI-wafer
1--Lithium niobaat piezoelektryske films (LNOI) hawwe in hege piezoelektryske koëffisjint en diëlektryske konstante, dy't meganyske enerzjy yn elektryske enerzjy of elektryske enerzjy yn meganyske enerzjy omsette kinne. Dêrom wurdt it in soad brûkt op it mêd fan sensoren, lykas druksensors, fersnellingssensors, temperatuersensors en sa fierder. Derneist kin de lithium niobaat piezoelektryske film ek brûkt wurde yn akoestyske apparaten en trillingsapparaten, lykas piezoelektryske keramyske transducerkompleks piezoelektryske keramyske filters.
2-De stabiliteit fan 'e lithium niobate piezoelektryske film is ek ien fan syn foardielen. Fanwegen syn kristalstruktuerstabiliteit en gemyske inertheid kin de lithium niobate piezoelektryske film wurkje yn hege temperatuer, hege fochtigens, sterke soeren, sterke alkaliën en oare rûge omjouwings, mei goede korrosjebestriding en duorsumens.
3-Lithium niobaat piëzoelektryske film is in nij piëzoelektrysk materiaal mei poerbêste prestaasjes en stabiliteit, en hat in breed tapassingsperspektyf. Mei de trochgeande ûntwikkeling fan wittenskip en technology sil lithium niobaat piëzoelektryske film yn mear stêden tapast wurde, wat mear gemak en ynnovaasje yn it libben fan minsken bringt.
Detaillearre diagram


