4inch 6inch Lithium niobate single crystal film LNOI wafer
It tariedingsproses fan LNOI-materialen is benammen ferdield yn 'e folgjende fjouwer stappen
(1) Hy ioanen waarden ynstutsen yn de X-cut lithium niobate materiaal op in bepaalde enerzjy, en ynfierd yn de defect laach op in bepaalde djipte ûnder it oerflak laach fan lithium niobate;
(2) It ion ymplantearre lithium niobate materiaal wurdt bûn oan in silisium substraat mei in okside laach te foarmjen in bonding struktuer;
(3) De bondingstruktuer waard annealed om de defekten te meitsjen dy't troch He-ion-ymplantaasje yntrodusearre wurde evoluearje en aggregearje om skuorren te foarmjen. Uteinlik waard de lithium niobate skieden lâns de defekt laach te foarmjen de oerbleaune lithium niobate plakjes en LNOI wafers.
Applikaasjes en foardielen fan LNOI wafer
1 - Lithium niobate piezoelectric films (LNOI) hawwe hege piezoelectric koëffisjint en dielectric konstante, dat kin omsette meganyske enerzjy yn elektryske enerzjy of elektryske enerzjy yn meganyske enerzjy. Dêrom wurdt it in protte brûkt op it mêd fan sensoren, lykas druksensors, fersnellingssensors, temperatuersensors ensafuorthinne. Dêrneist kin de lithium niobate piezoelectric film ek brûkt wurde yn akoestyske apparaten en trilling apparaten, lykas piezoelectric keramyske transducer kompleks piezoelectric keramyske filter.
2-De stabiliteit fan lithium niobate piezoelectric film is ek ien fan syn foardielen. Troch syn kristalstruktuer stabiliteit en gemyske inertness, lithium niobate piezoelectric film kin wurkje yn hege temperatuer, hege vochtigheid, sterke soere, sterke alkali en oare hurde omjouwing, mei goede corrosie ferset en duorsumens.
3-Lithium niobate piezoelectric film is in nij piezoelectric materiaal mei poerbêste prestaasjes en stabiliteit, en hat in breed tapassing perspektyf. Mei de trochgeande ûntwikkeling fan wittenskip en technology, lithium niobate piezoelectric film sil tapast wurde yn mear stêden, bringt mear gemak en ynnovaasje yn it libben fan minsken
Detaillearre diagram
