2 inch SiC ingot Dia50.8mmx10mmt 4H-N monokristallijn

SiC Crystal Growth Technology

De skaaimerken fan SiC meitsje it lestich om inkele kristallen te groeien. Dit komt benammen troch it feit dat der gjin floeibere faze is mei stoichiometryske ferhâlding fan Si : C = 1 : 1 by atmosfearyske druk, en it is net mooglik om SiC te groeien troch de mear folwoeksen groeimetoaden, lykas de direkte tekenmetoade en de fallende kroes metoade, dy't binne de pylders fan 'e semiconductor yndustry. Teoretysk kin in oplossing mei in stoichiometryske ferhâlding fan Si : C = 1 : 1 allinich wurde krigen as de druk grutter is as 10E5atm en de temperatuer heger is as 3200 ℃. Op it stuit omfetsje de mainstreammetoaden de PVT-metoade, de floeistoffasemetoade, en de gemyske ôfsettingsmetoade mei hege temperatueren yn dampfase.

De SiC-wafels en kristallen dy't wy leverje wurde benammen groeid troch fysyk dampferfier (PVT), en it folgjende is in koarte ynlieding oer PVT:

Fysike damptransport (PVT) metoade is ûntstien út de gasfase sublimaasjetechnyk útfûn troch Lely yn 1955, wêrby't SiC-poeder yn in grafytbuis pleatst wurdt en op hege temperatuer ferwaarme wurdt om it SiC-poeder te ûntbinen en te sublimearjen, en dan it grafyt. buis wurdt ôfkuolle, en de ôfbrutsen gas-fase komponinten fan de SiC poeder wurde dellein en crystallized as SiC kristallen yn it omlizzende gebiet fan 'e grafyt buis. Hoewol't dizze metoade is dreech te krijen grutte-sized SiC single kristallen en de deposition proses binnen de grafyt buis is lestich te kontrolearjen, it jout ideeën foar folgjende ûndersikers.

YM Tairov et al. yn Ruslân yntrodusearre it konsept fan sied crystal op dizze basis, dy't oplost it probleem fan uncontrollable crystal foarm en nucleation posysje fan SiC kristallen. Folgjende ûndersikers bleauwen ferbetterje en ûntwikkele úteinlik de fysike dampferfier (PVT) metoade dy't hjoeddedei yndustrieel wurdt brûkt.

As de ierste metoade foar SiC-kristalgroei, is PVT op it stuit de meast mainstream-groeimetoade foar SiC-kristallen. Yn ferliking mei oare metoaden hat dizze metoade lege easken foar groeiapparatuer, ienfâldich groeiproses, sterke kontrolearberens, yngeande ûntwikkeling en ûndersyk, en is al yndustrialisearre.