12 inch SIC-substraat silisiumkarbid prime kwaliteit diameter 300 mm grutte grutte 4H-N Geskikt foar waarmteôffier fan apparaten mei hege krêft
Produkteigenskippen
1. Hege termyske geliedingsfermogen: de termyske geliedingsfermogen fan silisiumkarbid is mear as 3 kear dy fan silisium, wat geskikt is foar waarmteferwidering fan apparaten mei hege krêft.
2. Hege trochbraakfjildsterkte: De trochbraakfjildsterkte is 10 kear dy fan silisium, geskikt foar hege-druk tapassingen.
3. Brede bandgap: De bandgap is 3.26eV (4H-SiC), geskikt foar hege temperatuer- en hege frekwinsje-tapassingen.
4. Hege hurdens: Mohs-hurdens is 9.2, twadde allinich nei diamant, poerbêste wearzebestindigens en meganyske sterkte.
5. Gemyske stabiliteit: sterke korrosjebestriding, stabile prestaasjes yn hege temperatuer en rûge omjouwing.
6. Grutte grutte: 12 inch (300 mm) substraat, ferbetterje produksjeeffisjinsje, ferminderje ienheidskosten.
7. Lege defektdichtheid: technology foar groei fan ien kristal fan hege kwaliteit om lege defektdichtheid en hege konsistinsje te garandearjen.
Produkt wichtichste tapassingsrjochting
1. Krêftelektronika:
Mosfets: Brûkt yn elektryske auto's, yndustriële motoroandriuwingen en stroomomvormers.
Dioden: lykas Schottky-diodes (SBD), brûkt foar effisjinte gelykrjochting en skeakeljende stroomfoarsjennings.
2. Rf-apparaten:
RF-krêftfersterker: brûkt yn 5G-kommunikaasjebasisstasjons en satellytkommunikaasje.
Mikrogolfapparaten: Geskikt foar radar- en draadloze kommunikaasjesystemen.
3. Nije enerzjyauto's:
Elektryske oandriuwsystemen: motorkontrollers en omvormers foar elektryske auto's.
Oplaadstapel: Strommodule foar snellaadapparatuer.
4. Yndustriële tapassingen:
Hege spanningsomvormer: foar yndustriële motorkontrôle en enerzjybehear.
Smart grid: Foar HVDC-oerdracht en transformators foar krêftelektronika.
5. Loftfeart:
Hege temperatuer elektroanika: geskikt foar hege temperatueromjouwings fan loftfeartapparatuer.
6. Undersyksfjild:
Undersyk nei brede bângap-healgeleiders: foar de ûntwikkeling fan nije healgeleidermaterialen en -apparaten.
It 12-inch silisiumkarbide substraat is in soarte fan heechweardige healgeleidermateriaalsubstraat mei poerbêste eigenskippen lykas hege termyske geleidingsfermogen, hege trochbraakfjildsterkte en brede bandgap. It wurdt in soad brûkt yn krêftelektronika, radiofrekwinsjeapparaten, nije enerzjyauto's, yndustriële kontrôle en loftfeart, en is in wichtich materiaal om de ûntwikkeling fan 'e folgjende generaasje effisjinte en krêftige elektroanyske apparaten te befoarderjen.
Wylst silisiumkarbidsubstraten op it stuit minder direkte tapassingen hawwe yn konsuminte-elektroanika lykas AR-brillen, koe har potinsjeel yn effisjint enerzjybehear en miniaturisearre elektroanika lichtgewicht, hege prestaasjes stroomfoarsjenningsoplossingen stypje foar takomstige AR/VR-apparaten. Op it stuit is de wichtichste ûntwikkeling fan silisiumkarbidsubstraten konsintrearre yn yndustriële fjilden lykas nije enerzjyauto's, kommunikaasje-ynfrastruktuer en yndustriële automatisearring, en befoarderet de healgeleideryndustry om te ûntwikkeljen yn in effisjintere en betrouberdere rjochting.
XKH set him yn foar it leverjen fan 12" SIC-substraten fan hege kwaliteit mei wiidweidige technyske stipe en tsjinsten, ynklusyf:
1. Oanpaste produksje: Neffens klantbehoeften om ferskillende wjerstân, kristaloriïntaasje en oerflakbehannelingsubstraat te leverjen.
2. Prosesoptimalisaasje: Jou klanten technyske stipe foar epitaksiale groei, apparaatproduksje en oare prosessen om produktprestaasjes te ferbetterjen.
3. Testen en sertifisearring: Soargje foar strange defektdeteksje en kwaliteitsertifisearring om te soargjen dat it substraat foldocht oan yndustrynoarmen.
4. R&D-gearwurking: Mienskiplik nije silisiumkarbide-apparaten ûntwikkelje mei klanten om technologyske ynnovaasje te befoarderjen.
Gegevensdiagram
Spesifikaasje fan 1/2 inch silisiumkarbid (SiC) substraat | |||||
Klasse | ZeroMPD Produksje Graad (Z-graad) | Standertproduksje Graad (P-graad) | Dummy-klasse (D-klasse) | ||
Diameter | 300 mm~305mm | ||||
Dikte | 4H-N | 750μm ± 15 μm | 750μm ± 25 μm | ||
4H-SI | 750μm ± 15 μm | 750μm ± 25 μm | |||
Wafer-oriïntaasje | Off-as: 4.0° rjochting <1120 >±0.5° foar 4H-N, Op-as: <0001>±0.5° foar 4H-SI | ||||
Mikropipedichtheid | 4H-N | ≤0.4cm-2 | ≤4cm-2 | ≤25cm-2 | |
4H-SI | ≤5cm-2 | ≤10cm-2 | ≤25cm-2 | ||
Wjerstân | 4H-N | 0.015~0.024 Ω·cm | 0.015~0.028 Ω·cm | ||
4H-SI | ≥1E10 Ω·cm | ≥1E5 Ω·cm | |||
Primêre platte oriïntaasje | {10-10} ±5.0° | ||||
Primêre platte lingte | 4H-N | N/A | |||
4H-SI | Notch | ||||
Râne-útsluting | 3 mm | ||||
LTV/TTV/Bôge/Kwarp | ≤5μm/≤15μm/≤35μm/≤55μm | ≤5μm/≤15μm/≤35 □ μm/≤55 □ μm | |||
Rûchheid | Poalske Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0.2 nm | Ra≤0.5 nm | ||||
Rânebarsten troch ljocht mei hege yntensiteit Hexplaten troch ljocht mei hege yntensiteit Polytypegebieten troch ljocht mei hege yntensiteit Fisuele koalstofynslutingen Silisium oerflak krast troch hege yntensiteit ljocht | Gjin Kumulatyf gebiet ≤0.05% Gjin Kumulatyf gebiet ≤0.05% Gjin | Kumulative lingte ≤ 20 mm, ienige lingte ≤2 mm Kumulatyf gebiet ≤0.1% Kumulatyf gebiet ≤3% Kumulatyf gebiet ≤3% Kumulative lingte ≤1 × waferdiameter | |||
Rânechips troch ljocht mei hege yntensiteit | Gjin tastien ≥0.2mm breedte en djipte | 7 tastien, ≤1 mm elk | |||
(TSD) Ferskowing fan skroeven | ≤500 sm-2 | N/A | |||
(BPD) Basisflakferskowing | ≤1000 sm-2 | N/A | |||
Fersmoarging fan it oerflak fan silisium troch ljocht mei hege yntensiteit | Gjin | ||||
Ferpakking | Multi-waferkassette of ienkele waferkontener | ||||
Notysjes: | |||||
1 Defektgrinzen jilde foar it hiele waferoerflak, útsein it râne-útslutingsgebiet. 2De krassen moatte allinich op it Si-gesicht kontrolearre wurde. 3 De dislokaasjegegevens binne allinich fan KOH-etste wafers. |
XKH sil trochgean mei ynvestearjen yn ûndersyk en ûntwikkeling om de trochbraak fan 12-inch silisiumkarbidsubstraten yn grutte grutte, lege defekten en hege konsistinsje te befoarderjen, wylst XKH syn tapassingen ûndersiket yn opkommende gebieten lykas konsuminte-elektroanika (lykas stroommodules foar AR/VR-apparaten) en kwantumkompjûters. Troch kosten te ferminderjen en kapasiteit te fergrutsjen sil XKH wolfeart bringe oan 'e healgeleideryndustry.
Detaillearre diagram


