12 inch SiC-substraat Diameter 300 mm Dikte 750 μm 4H-N Type kin oanpast wurde
Technyske parameters
Spesifikaasje fan 12 inch silisiumkarbid (SiC) substraat | |||||
Klasse | ZeroMPD Produksje Graad (Z-graad) | Standertproduksje Graad (P-graad) | Dummy-klasse (D-klasse) | ||
Diameter | 300 mm~1305 mm | ||||
Dikte | 4H-N | 750μm ± 15 μm | 750μm ± 25 μm | ||
4H-SI | 750μm ± 15 μm | 750μm ± 25 μm | |||
Wafer-oriïntaasje | Off-as: 4.0° rjochting <1120 >±0.5° foar 4H-N, Op-as: <0001>±0.5° foar 4H-SI | ||||
Mikropipedichtheid | 4H-N | ≤0.4cm-2 | ≤4cm-2 | ≤25cm-2 | |
4H-SI | ≤5cm-2 | ≤10cm-2 | ≤25cm-2 | ||
Wjerstân | 4H-N | 0.015~0.024 Ω·cm | 0.015~0.028 Ω·cm | ||
4H-SI | ≥1E10 Ω·cm | ≥1E5 Ω·cm | |||
Primêre platte oriïntaasje | {10-10} ±5.0° | ||||
Primêre platte lingte | 4H-N | N/A | |||
4H-SI | Notch | ||||
Râne-útsluting | 3 mm | ||||
LTV/TTV/Bôge/Kwarp | ≤5μm/≤15μm/≤35μm/≤55μm | ≤5μm/≤15μm/≤35 □ μm/≤55 □ μm | |||
Rûchheid | Poalske Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0.2 nm | Ra≤0.5 nm | ||||
Rânebarsten troch ljocht mei hege yntensiteit Hexplaten troch ljocht mei hege yntensiteit Polytypegebieten troch ljocht mei hege yntensiteit Fisuele koalstofynslutingen Silisium oerflak krast troch hege yntensiteit ljocht | Gjin Kumulatyf gebiet ≤0.05% Gjin Kumulatyf gebiet ≤0.05% Gjin | Kumulative lingte ≤ 20 mm, ienige lingte ≤2 mm Kumulatyf gebiet ≤0.1% Kumulatyf gebiet ≤3% Kumulatyf gebiet ≤3% Kumulative lingte ≤1 × waferdiameter | |||
Rânechips troch ljocht mei hege yntensiteit | Gjin tastien ≥0.2mm breedte en djipte | 7 tastien, ≤1 mm elk | |||
(TSD) Ferskowing fan skroeven | ≤500 sm-2 | N/A | |||
(BPD) Basisflakferskowing | ≤1000 sm-2 | N/A | |||
Fersmoarging fan it oerflak fan silisium troch ljocht mei hege yntensiteit | Gjin | ||||
Ferpakking | Multi-waferkassette of ienkele waferkontener | ||||
Notysjes: | |||||
1 Defektgrinzen jilde foar it hiele waferoerflak, útsein it râne-útslutingsgebiet. 2De krassen moatte allinich op it Si-gesicht kontrolearre wurde. 3 De dislokaasjegegevens binne allinich fan KOH-etste wafers. |
Wichtige funksjes
1. Produksjekapasiteit en kostenfoardielen: De massaproduksje fan 12-inch SiC-substraat (12-inch silisiumkarbidsubstraat) markearret in nij tiidrek yn 'e healgeleiderproduksje. It oantal chips dat te krijen is fan ien wafer berikt 2,25 kear dat fan 8-inch substraten, wat direkt in sprong yn produksjeeffisjinsje driuwt. Feedback fan klanten jout oan dat it oannimmen fan 12-inch substraten har produksjekosten foar stroommodules mei 28% fermindere hat, wêrtroch in beslissend konkurrinsjefoardiel ûntstiet yn 'e fûl omstriden merk.
2. Uitstekende fysike eigenskippen: It 12-inch SiC-substraat erft alle foardielen fan silisiumkarbidmateriaal - syn termyske geliedingsfermogen is 3 kear dy fan silisium, wylst syn trochslachfjildsterkte 10 kear dy fan silisium berikt. Dizze skaaimerken meitsje it mooglik foar apparaten basearre op 12-inch substraten om stabyl te operearjen yn hege temperatueromjouwings boppe 200 °C, wêrtroch't se benammen geskikt binne foar easken tapassingen lykas elektryske auto's.
3. Oerflakbehannelingstechnology: Wy hawwe in nij gemysk-meganysk polearproses (CMP) ûntwikkele spesifyk foar 12-inch SiC-substraten, wêrtroch in oerflakflakheid op atomêr nivo berikt wurdt (Ra <0,15 nm). Dizze trochbraak lost de wrâldwide útdaging fan oerflakbehanneling fan silisiumkarbidwafers mei grutte diameter op, en nimt obstakels foar epitaksiale groei fan hege kwaliteit fuort.
4. Prestaasjes fan termysk behear: Yn praktyske tapassingen litte 12-inch SiC-substraten opmerklike waarmteôffiermooglikheden sjen. Testgegevens litte sjen dat ûnder deselde krêfttichtens apparaten mei 12-inch substraten wurkje by temperatueren dy't 40-50 °C leger binne as apparaten op basis fan silisium, wêrtroch't de libbensdoer fan 'e apparatuer signifikant ferlingd wurdt.
Haadtapassingen
1. Nij enerzjy-ekosysteem foar auto's: It 12-inch SiC-substraat (12-inch silisiumkarbidsubstraat) feroaret de arsjitektuer fan 'e oandriuwing fan elektryske auto's. Fan onboard-laders (OBC) oant haadoandriuwingsomvormers en batterijbehearsystemen, de effisjinsjeferbetteringen dy't brocht wurde troch 12-inch substraten fergrutsje it berik fan it auto mei 5-8%. Rapporten fan in liedende autofabrikant jouwe oan dat it oannimmen fan ús 12-inch substraten it enerzjyferlies yn har snellaadsysteem mei in yndrukwekkende 62% fermindere.
2. Duorsume Enerzjysektor: Yn fotovoltaïske krêftsintrales hawwe omvormers basearre op 12-inch SiC-substraten net allinich lytsere foarmfaktoaren, mar berikke se ek in konverzje-effisjinsje fan mear as 99%. Benammen yn ferspraat generaasjescenario's betsjut dizze hege effisjinsje jierlikse besparrings fan hûnderttûzenen yuan oan elektrisiteitsferlies foar operators.
3. Yndustriële automatisearring: Frekwinsjeomsetters dy't gebrûk meitsje fan 12-inch substraten litte poerbêste prestaasjes sjen yn yndustriële robots, CNC-masine-ark en oare apparatuer. Harren hege-frekwinsje skeakelingseigenskippen ferbetterje de motorresponssnelheid mei 30%, wylst se elektromagnetyske ynterferinsje ferminderje ta ien tredde fan konvinsjonele oplossingen.
4. Ynnovaasje yn konsuminte-elektroanika: De folgjende generaasje snellaadtechnologyen foar smartphones binne begûn mei it oannimmen fan 12-inch SiC-substraten. Der wurdt ferwachte dat snellaadprodukten boppe 65W folslein sille oerstappe op silisiumkarbidoplossingen, wêrby't 12-inch substraten de optimale kosten-prestaasjekar wurde.
XKH oanpaste tsjinsten foar 12-inch SiC-substraat
Om te foldwaan oan spesifike easken foar 12-inch SiC-substraten (12-inch silisiumkarbidsubstraten), biedt XKH wiidweidige tsjinststipe:
1. Dikte oanpassing:
Wy leverje 12-inch substraten yn ferskate diktespesifikaasjes, ynklusyf 725 μm, om te foldwaan oan ferskate tapassingsbehoeften.
2. Dopingkonsintraasje:
Us produksje stipet meardere konduktiviteitstypen, ynklusyf n-type en p-type substraten, mei krekte wjerstânskontrôle yn it berik fan 0.01-0.02Ω·cm.
3. Testtsjinsten:
Mei folsleine testapparatuer op wafernivo leverje wy folsleine ynspeksjerapporten.
XKH begrypt dat elke klant unike easken hat foar 12-inch SiC-substraten. Dêrom biede wy fleksibele saaklike gearwurkingsmodellen oan om de meast konkurrearjende oplossingen te leverjen, of it no giet om:
· R&D-foarbylden
· Oankeapen fan grutte produksje
Us oanpaste tsjinsten soargje derfoar dat wy kinne foldwaan oan jo spesifike technyske en produksjebehoeften foar 12-inch SiC-substraten.


