Wat betsjutte TTV, BOW, WARP en TIR yn wafers?

By it ûndersykjen fan healgeleider-siliciumwafers of substraten makke fan oare materialen, komme wy faak technyske yndikatoaren tsjin lykas: TTV, BOW, WARP, en mooglik TIR, STIR, LTV, ûnder oaren. Hokker parameters fertsjintwurdigje dizze?

TTV - Totale diktefariaasje
BÊGE — Bôge
WARP — Warp
TIR - Totaal oanjûne lêzing
STIR - Totaal oanjûne lêzing op side
LTV - Lokale diktefariaasje

1. Totale diktefariaasje — TTV

It ferskil tusken de maksimale en minimale dikte fan 'e wafer relatyf oan it referinsjeflak as de wafer fêstklemd is en yn nau kontakt is. It wurdt oer it algemien útdrukt yn mikrometers (μm), faak oanjûn as: ≤15 μm.

2. Bôge — BÔGE

De ôfwiking tusken de minimale en maksimale ôfstân fan it sintrumpunt fan it waferoerflak oant it referinsjeflak as de wafer yn in frije (ûnklemde) steat is. Dit omfettet sawol konkave (negative bôge) as konvekse (positive bôge) gefallen. It wurdt typysk útdrukt yn mikrometers (μm), faak oanjûn as: ≤40 μm.

3. Ferfoarming — VERFORING

De ôfwiking tusken de minimale en maksimale ôfstân fan it waferoerflak oant it referinsjeflak (meastal it efterflak fan 'e wafer) as de wafer yn in frije (ûnklemde) steat is. Dit omfettet sawol konkave (negative warp) as konvekse (positive warp) gefallen. It wurdt oer it algemien útdrukt yn mikrometers (μm), faak oanjûn as: ≤30 μm.

4. Totaal oanjûne lêzing — TIR

As de wafer fêstklemd is en yn nau kontakt is, mei in referinsjeflak dat de som fan yntersepsjes fan alle punten binnen it kwaliteitsgebiet of in spesifisearre lokale regio op it waferoerflak minimalisearret, is de TIR de ôfwiking tusken de maksimale en minimale ôfstannen fan it waferoerflak oant dit referinsjeflak.

Oprjochte op djippe ekspertize yn spesifikaasjes foar healgeleidermateriaal lykas TTV, BOW, WARP en TIR, leveret XKH presyzje oanpaste waferferwurkingstsjinsten dy't ôfstimd binne op strange yndustrynoarmen. Wy leverje en stypje in breed oanbod fan hege prestaasjesmaterialen, ynklusyf saffier, silisiumkarbid (SiC), silisiumwafers, SOI en kwarts, wêrtroch't útsûnderlike flakheid, diktekonsistinsje en oerflakkwaliteit wurde garandearre foar avansearre tapassingen yn opto-elektroanika, stroomfoarsjenningsapparaten en MEMS. Fertrou ús om betroubere materiaaloplossingen en presyzjebewerking te leverjen dy't foldogge oan jo meast easken ûntwerpeasken.