It silisiumkarbidsubstraat is ferdield yn semi-isolearjend type en konduktyf type. Op it stuit is de mainstream-spesifikaasje fan semi-isolearre silisiumkarbidsubstraatprodukten 4 inch. Yn 'e liedende silisiumkarbidmerk is de hjoeddeistige spesifikaasje foar mainstream substraatprodukt 6 inch.
Fanwegen downstream-tapassingen yn it RF-fjild binne semi-isolearre SiC-substraten en epitaksiale materialen ûnderwurpen oan eksportkontrôle troch it Amerikaanske ministearje fan Keaphannel. Semi-isolearre SiC as substraat is de foarkar materiaal foar GaN heteroepitaxy en hat wichtige tapassing perspektyf yn magnetron fjild. Yn ferliking mei de kristal mismatch fan saffier 14% en Si 16,9%, de kristal mismatch fan SiC en GaN materialen is mar 3,4%. Tegearre mei de ultra-hege termyske conductivity fan SiC, De hege enerzjy effisjinsje LED en GaN hege frekwinsje en hege macht magnetron apparaten taret troch it hawwe grutte foardielen yn radar, hege macht magnetron apparatuer en 5G kommunikaasje systemen.
It ûndersyk en ûntwikkeling fan semi-isolearre SiC substraat hat altyd west it fokus fan it ûndersyk en ûntwikkeling fan SiC single crystal substraat. D'r binne twa haadproblemen by it groeien fan semi-isolearre SiC-materialen:
1) Ferminderje de N donor ûnreinheden yntrodusearre troch grafyt kroes, termyske isolaasje adsorpsje en doping yn poeder;
2) Wylst it garandearjen fan de kwaliteit en elektryske eigenskippen fan it kristal, wurdt in djip nivo sintrum yntrodusearre te kompensearjen de oerbleaune ûndjippe nivo ûnreinheden mei elektryske aktiviteit.
Op it stuit binne de fabrikanten mei semy-isolearre SiC produksjekapasiteit benammen SICC Co, Semisic Crystal Co, Tanke Blue Co, Hebei Synlight Crystal Co., Ltd.
It conductive SiC-kristal wurdt berikt troch it ynjeksje fan stikstof yn 'e groeiende sfear. Conductive silisium carbid substraat wurdt benammen brûkt yn it meitsjen fan macht apparaten, silisium carbid macht apparaten mei hege spanning, hege stroom, hege temperatuer, hege frekwinsje, lege ferlies en oare unike foardielen, sil gâns ferbetterje it besteande gebrûk fan silisium basearre macht apparaten enerzjy konverzje effisjinsje, hat in wichtige en fiergeande ynfloed op it mêd fan effisjinte enerzjykonverzje. De wichtichste tapassingsgebieten binne elektryske auto's / oplaadpeallen, fotovoltaïske nije enerzjy, spoarferfier, smart grid ensafuorthinne. Om't de streamôfwerts fan liedende produkten foaral machtapparaten binne yn elektryske auto's, fotovoltaïske en oare fjilden, is it tapassingperspektyf breder, en binne de fabrikanten mear tal.
Silisiumkarbidkristaltype: De typyske struktuer fan it bêste 4H kristallijn silisiumkarbid kin wurde ferdield yn twa kategoryen, ien is it kubike silisiumkarbidkristaltype fan sphaleritstruktuer, bekend as 3C-SiC of β-SiC, en de oare is de hexagonale of diamantstruktuer fan 'e grutte perioadestruktuer, dy't typysk is foar 6H-SiC, 4H-sic, 15R-SiC, ensfh., kollektyf bekend as α-SiC. 3C-SiC hat it foardiel fan hege resistiviteit yn produksjeapparaten. De hege mismatch tusken Si- en SiC-roosterkonstinten en termyske útwreidingskoëffisjinten kinne lykwols liede ta in grut oantal defekten yn 'e 3C-SiC epitaksiale laach. 4H-SiC hat in grut potensjeel yn it meitsjen fan MOSFET's, om't syn kristalgroei en epitaksiale laachgroeiprosessen poerbêst binne, en yn termen fan elektroanenmobiliteit is 4H-SiC heger dan 3C-SiC en 6H-SiC, en leveret bettere mikrogolfeigenskippen foar 4H -SiC MOSFETs.
As der ynbreuk, kontakt wiskje
Post tiid: Jul-16-2024