Ynhâldsopjefte
1. Oersjoch en kearnfunksjes fan FOUP
2.Struktuer en ûntwerpfunksjes fan FOUP
3. Klassifikaasje en tapassingsrjochtlinen fan FOUP
4. Operaasjes en belang fan FOUP yn healgeleiderproduksje
5. Technyske útdagings en takomstige ûntwikkelingstrends
6. Oanpaste oplossingen en tsjinststipe fan XKH
Yn it produksjeproses fan healgeleiders is de Front Opening Unified Pod (FOUP) in krityske kontener dy't brûkt wurdt foar it beskermjen, transportearjen en opslaan fan wafers. De binnenkant kin 25 stikken fan 300 mm wafers ûnderbringe, en de wichtichste komponinten omfetsje in kontener dy't oan 'e foarkant iepenet en in spesjaal doarframe foar it iepenjen en sluten. De FOUP is in kearndrager yn it automatisearre transportsysteem binnen 12-inch waferfabriken. It wurdt typysk yn in sletten steat transportearre en iepenet allinich as it nei de laadpoarte fan 'e apparatuer skood wurdt, wêrtroch wafers oerbrocht wurde kinne nei de laad-/ûntlaadpoarte fan 'e apparatuer.
It ûntwerp fan 'e FOUP is oanpast oan 'e easken fan 'e mikro-omjouwing. It hat sleuven oan 'e efterkant foar it ynfoegjen fan wafers, en it deksel is spesifyk ûntworpen om te passen by de klem fan 'e iepener. Wafer-behannelingsrobots operearje yn in Klasse 1 skjinne loftomjouwing, wêrtroch't de wafers net fersmoarge wurde tidens it ferfier. Fierder wurdt de FOUP tusken prosesark ferpleatst fia in automatisearre materiaalbehannelingssysteem (AMHS). Moderne waferfabriken brûke meast overhead railsystemen foar ferfier, wylst in pear âldere fabriken mooglik grûnbasearre automatysk begeliede auto's (AGV's) brûke.
De FOUP makket net allinich automatisearre waferoerdracht mooglik, mar tsjinnet ek in opslachfunksje. Fanwegen de ferskate produksjestappen kin it moannen duorje foardat wafers it heule proses foltôgje. Yn kombinaasje mei hege moanlikse produksjevoluminten betsjut dit dat tsientûzenen wafers binnen in fabryk konstant ûnderweis binne of tydlik opslein wurde. Tidens opslach wurde FOUP's periodyk mei stikstof suvere om te foarkommen dat fersmoarging yn kontakt komt mei de wafers, wêrtroch in skjin en betrouber produksjeproses garandearre wurdt.
1. Funksjes en belang fan FOUP
De kearnfunksje fan 'e FOUP is om wafers te beskermjen tsjin eksterne skokken en fersmoarging, benammen troch ynfloeden op 'e opbringst tidens de oerdracht te foarkommen. It foarkomt effektyf focht troch metoaden lykas gasreiniging en Lokale Atmosfearkontrôle (LAC), wêrtroch't wafers yn in feilige steat bliuwe wylst se wachtsje op 'e folgjende produksjestap. It fersegele en kontroleare systeem lit allinich needsaaklike ferbiningen en eleminten binnenkomme, wêrtroch't de negative effekten fan VOC's, soerstof en focht op 'e wafers signifikant wurde fermindere.
Omdat in FOUP folslein laden mei 25 wafers oant 9 kilogram weagje kin, moat it ferfier dêrfan fertrouwe op in Automated Material Handling System (AMHS). Om dit te fasilitearjen, is de FOUP ûntworpen mei ferskate kombinaasjes fan koppelingsplaten, pinnen en gatten, en is foarsjoen fan RFID-elektroanyske tags foar maklike identifikaasje en klassifikaasje. Dizze automatisearre ôfhanneling fereasket hast gjin hânmjittige operaasje, wêrtroch't de flatersifers sterk wurde fermindere en de feiligens en krektens fan it produksjeproses ferbettere wurde.
2. Struktuer en klassifikaasje fan FOUP
De typyske ôfmjittings fan in FOUP binne sawat 420 mm yn 'e breedte, 335 mm yn 'e djipte en 335 mm yn 'e hichte. De wichtichste strukturele komponinten omfetsje: in boppeste OHT (paddestoelkop) foar it ferfier fan overheadtakels; in foardoar foar tagong ta wafers fan apparatuer; sydhandgrepen, faak kleurkodearre om prosesgebieten mei ferskillende fersmoargingsnivo's te ûnderskieden; in kaartgebiet foar it pleatsen fan berjochtkaarten; en in ûnderste RFID-tag dy't tsjinnet as de unike identifier foar de FOUP, wêrtroch ark en overheadtakels it kinne werkenne. De basis is ek foarsjoen fan fjouwer identifikaasje- en posysjonearringsgatten foar it oerienkommen mei ark en it ûnderskieden fan prosesgebieten.
Op basis fan gebrûk wurde FOUP's yndield yn trije typen: PRD (foar produksje), ENG (foar yngenieurswafers), en MON (foar monitorwafers). PRD FOUP's kinne brûkt wurde foar produktproduksje, ENG-typen binne geskikt foar R&D of eksperiminten, en MON-typen binne bedoeld foar prosesmonitoring foar stappen lykas CMP en DIFF. It is wichtich om te notearjen dat PRD FOUP's brûkt wurde kinne foar sawol ENG- as MON-doelen, en ENG-typen kinne brûkt wurde foar MON, mar de omkearde operaasje bringt kwaliteitsrisiko's mei.
Klassifisearre op fersmoargingsnivo, kinne FOUP's wurde ferdield yn FE FOUP (front-end proses, metaalfrij), BE FOUP (back-end proses, befettet metaal), en dyjingen spesjalisearre foar spesifike metaalprosessen lykas NI FOUP, CU FOUP, en CO FOUP. FOUP's foar ferskate prosessen wurde typysk ûnderskieden troch de kleur fan 'e sydhandgrepen of doarpanielen. FOUP's fan front-end prosessen kinne brûkt wurde yn back-end prosessen, mar back-end FOUP's meie nea brûkt wurde yn front-end prosessen, om't dit fersmoargingsrisiko's feroarsaakje soe.
As in wichtige drager yn 'e produksje fan healgeleiders soarget de FOUP, troch hege automatisearring en strange fersmoargingskontrôle, foar de feiligens en skjinens fan wafers tidens it produksjeproses, wêrtroch it in ûnmisbere ynfrastruktuer is yn moderne waferfabriken.
Konklúzje
XKH set him yn om klanten te foarsjen fan tige oanpaste Front-Opening Unified Pod (FOUP) oplossingen, wêrby't wy strikt foldogge oan jo spesifike proseseasken en spesifikaasjes foar apparatuer-ynterface. Troch gebrûk te meitsjen fan avansearre materiaaltechnology en presyzje produksjeprosessen, soargje wy derfoar dat elk FOUP-produkt útsûnderlike luchtdichtheid, skjinens en meganyske stabiliteit leveret. Us technyske team hat djipgeande yndustry-ekspertize, en biedt wiidweidige libbenssyklusstipe - fan seleksje-advys en strukturele optimalisaasje oant skjinmeitsjen en ûnderhâld - en soarget foar naadleaze yntegraasje en effisjinte gearwurking tusken de FOUP en jo Automated Material Handling System (AMHS), lykas ferwurkingsapparatuer. Wy prioritearje konsekwint de feiligens fan wafers en de ferbettering fan produksjeopbringst as ús kearndoelen. Troch ynnovative produkten en allesomfiemjende technyske tsjinsten leverje wy in robuuste garânsje foar jo healgeleiderproduksjeprosessen, wêrtroch úteinlik de produksjeeffisjinsje en produktopbringst wurde ferbettere.
Pleatsingstiid: 8 septimber 2025